[发明专利]一种母版合成对位工艺

权利要求书

1.一种母版合成对位工艺，其特征在于：包括以下操作步骤

(一)合成所需图形的大孔径母版：

(1)利用大孔径原母版拷贝出多个第一菲林版；拷贝出的第一菲林版上形成的图形与大孔径原母版上的图形相同；

(2)根据合成母版图形的要求，将每个第一菲林版不用的部分裁切去；

(3)将多个裁切后的第一菲林版按照设计要求进行拼接；

(4)将拼接好的多个第一菲林版进行固定；

(5)再利用拼接固定好的多个第一菲林版拷贝大孔径母版；拷贝出的大孔径母版上形成的图形与拼接固定好的多个第一菲林版上的图形相同；

(二)合成所需图形的小孔径母版：

(6)利用小孔径原母版拷贝出多个第二菲林版；拷贝出的第二菲林版上形成的图形与小孔径原母版上的图形相同；

(7)根据合成母版图形的要求，将每个第二菲林版不用的部分裁切去；

(8)在显微镜下，以步骤(5)制得的大孔径母版为基准，对多个裁切后的第二菲林版与大孔径母版进行精确对位；

(9)将对位好的多个第二菲林版进行固定；

(10)最后利用对位固定好的多个第二菲林版拷贝出小孔径母版；拷贝出小孔径母版上形成的图形与对位固定好的多个第二菲林版上的图形相同。

2.根据权利要求1所述的一种母版合成对位工艺，其特征在于：步骤(1)中利用大孔径原母版拷贝出多个第一菲林版；其拷贝条件为：在半真空抽气时间为20S～50S，全真空抽气时间为50S～100S的条件下以大孔径原母版为掩膜与菲林紧密结合进行曝光，曝光的光通量为65lm～120lm；再利用工作温度为25℃～38℃的显影液，将曝光后的菲林进行显影，使菲林上形成的图形与大孔径原母版上的相同；再使用25℃～38℃的定影液使菲林上形成黑白分明的稳定的图形；然后对定影后的菲林进行水洗，洗去上面的显影液和定影液，再在37℃～43℃的条件下烘干35秒～40秒；菲林上就形成与大孔径原母版相同图形的第一菲林版；其中，显影、定影、水洗的时间各为35秒～40秒。

3.根据权利要求1所述的一种母版合成对位工艺，其特征在于：步骤(6)中利用小孔径原母版拷贝出多个第二菲林版；其拷贝条件为：在半真空抽气时间为20S～50S，全真空抽气时间为50S～100S的条件下以小孔径原母版为掩膜与菲林紧密结合进行曝光，曝光的光通量为65lm～120lm；再利用工作温度为25℃～38℃的显影液，将曝光后的菲林进行显影，使菲林上形成的图形与小孔径原母版上的相同；再使用25℃～38℃的定影液使菲林上形成黑白分明的稳定的图形；然后对定影后的菲林进行水洗，洗去上面的显影液和定影液，再在37℃～43℃的条件下烘干35秒～40秒；菲林上就形成与小孔径原母版相同图形的第二菲林版；其中，显影、定影、水洗的时间各为35秒～40秒。

4.根据权利要求1所述的一种母版合成对位工艺，其特征在于：步骤(5)中，利用拼接固定好的多个第一菲林版拷贝出大孔径母版：拷贝前先将拼接固定好的多个第一菲林版和玻璃干版表面清洁干净，利用曝光机真空抽气系统以真空度为(680～760)×133.3pa的条件，对拼接固定好的多个第一菲林版和玻璃干版进行真空吸附8～12分钟；再以曝光照度为1.8lx～2.0lx的条件，以拼接固定好的多个第一菲林版为掩膜进行15S～60S的曝光，利用工作温度为19℃～21℃的显影液对玻璃干版进行2～4分钟显影，使玻璃干版上形成与拼接固定好的第一菲林版相同的图形；最后再利用工作温度为19℃～21℃的定影液对玻璃干版进行2分钟～4分钟定影，使玻璃干版上形成黑白分明的稳定的图形；经过上述步骤，玻璃干版上就形成了与拼接固定好的多个第一菲林版相同图形的大孔径母版。

5.根据权利要求1所述的一种母版合成对位工艺，其特征在于：步骤(10)中，利用对位固定好的多个第二菲林版拷贝出小孔径母版：拷贝前先将对位固定好的多个第二菲林版和玻璃干版表面清洁干净，利用曝光机真空抽气系统以真空度为(680～760)×133.3pa的条件，对对位固定好的多个第二菲林版和玻璃干版进行真空吸附8～12分钟；再以曝光照度为1.8lx～2.0lx的条件，以对位固定好的多个第二菲林版为掩膜进行15S～60S的曝光，利用工作温度为19℃～21℃的显影液对玻璃干版进行2～4分钟显影，使玻璃干版上形成与对位固定好的第二菲林版相同的图形；最后再利用工作温度为19℃～21℃的定影液对玻璃干版进行2分钟～4分钟定影，使玻璃干版上形成黑白分明的稳定的图形；经过上述步骤，玻璃干版上就形成了与对位固定好的多个第二菲林版相同图形的小孔径母版。