[发明专利]新型低成本水平阵列液体制冷半导体激光器及其制备方法

权利要求书

1.一种水平阵列液体制冷半导体激光器，包括下液体制冷块(22)、正极连接 片(20)、带芯片(2)的微制冷模块(27)、负极连接片(18)和回水块(17)， 其特征在于：所述下液体制冷块(22)内设有下液体制冷块水平入水孔(11) 和下液体制冷块水平出水孔(12)，所述下液体制冷块(22)的上端面设有 两组或两组以上进出水孔，每组进出水孔包括一个垂直入水孔(16)和一个 垂直出水孔(14)，所述垂直入水孔(16)与下液体制冷块水平入水孔(11) 相通，所述垂直出水孔(14)与下液体制冷块水平出水孔(12)相通；所述 微制冷模块(27)上设有制冷模块入水孔(3)和制冷模块出水孔(9)；所 述下液体制冷块(22)上端面上相对于每组进出水孔，并排设有两块或两块 以上相互独立的微制冷模块(27)，各微制冷模块(27)与下液体制冷块(22) 之间均设有正极连接片(20)，各微制冷模块(27)的上面均设有负极连接 片(18)，所述负极连接片(18)上设置有回水块(17)；各微制冷模块(27) 的制冷模块入水孔(3)和制冷模块出水孔(9)分别与下液体制冷块(22) 上每组进出水孔的垂直入水孔(16)和垂直出水孔(14)连通；所述垂直入 水孔(16)、垂直出水孔(14)、制冷模块出水孔(9)、制冷模块入水孔(3) 的截面为矩形或椭圆形。

2.根据权利要求1所述的水平阵列液体制冷半导体激光器，其特征在于：所述 微制冷模块(27)包括铜连接片(8)和微液体制冷片(7)，微液体制冷片 (7)为多边形片状，微液体制冷片(7)的中部垂直开设有固定孔(5)，固 定孔(5)的两侧分别设有制冷模块入水孔(3)和制冷模块出水孔(9)，所 述制冷模块入水孔(3)内设有散热翅片(4)，所述微液体制冷片(7)在靠 近制冷模块入水孔(3)的一端设有芯片安装区，所述微液体制冷片(7)的 芯片安装区设有热沉(1)和芯片(2)，热沉(1)与芯片(2)的正极面贴 合，所述芯片(2)的负极面与铜连接片(8)贴合，所述铜连接片(8)与 微液体制冷片(7)之间还设有第一绝缘片(6)。

3.根据权利要求1所述的水平阵列液体制冷半导体激光器，其特征在于：所述 下液体制冷块(22)上的垂直入水孔(16)的上端开口处设有沉槽(29)， 所述沉槽(29)上设有防水密封圈(23)。

4.根据权利要求1所述的水平阵列液体制冷半导体激光器，其特征在于：所述 负极连接片(18)与正极连接片(20)均固定于下液体制冷块(22)上，所 述负极连接片(18)与相邻微制冷模块(27)下的正极连接片(20)连接， 使各微制冷模块(27)上下侧的每组负极连接片(18)和正极连接片(20) 形成串联的电连接形式，所述负极连接片(18)通过负极引片(28)引出； 所述正极连接片(20)通过正极引片(21)引出。

5.根据权利要求1所述的水平阵列液体制冷半导体激光器，其特征在于：所述 负极连接片(18)和微制冷模块(27)的中部均设有螺栓通孔，所述下液体 制冷块(22)的上端面与下端面间设有一组垂直的螺栓固定孔(15)，所述 回水块(17)内设有回水连通孔(30)，回水块(17)的下端面上设有回水 块进水孔(26)和回水块出水孔(24)，回水块进水孔(26)和回水块出水 孔(24)与回水连通孔(30)相通，回水块(17)的下端面上还设有回水块 固定螺孔(25)，所述回水块(17)、微制冷模块(27)和负极连接片(18) 通过螺栓固定于下液体制冷块(22)上。