[发明专利]连续式多晶硅提纯结晶炉的加热装置

权利要求书

1.一种连续式多晶硅提纯结晶炉的加热装置，它包括复合加热装置、温 度传感器、控温仪表，其特征在于：复合加热装置采用炉膛侧部布置、上部布 置、侧上部布置、侧下部布置加热元件组复合组成方式，采用长度方向多工位 控制及高度方向上下温区不同功率复合控制，实现连续式定向凝固，在结晶区 的数个工位的每个工位上下设置两个单独的温区，分别控制，复合加热装置采 用上辅助加热元件组(1)和炉膛侧部加热元件组(2)构成，上辅助加热元件 组(1)为数支加热元件组成的加热元件组，采用炉膛上部布置加热元件组或炉 膛侧上部布置加热元件组方式；炉膛侧部加热元件组(2)同样为数支加热元件 组成的加热元件组，采用炉膛侧部布置加热元件组或炉膛侧下部布置加热元件 组方式，通过上辅助加热元件组和炉膛侧部加热元件组的复合加热装置的设置 和分别控制，实现产品由下而上的定向凝固所需要的同一截面上下温度梯度的 要求，上部温区温度设定为1436℃～1420℃之间，下部温区温度设定随结晶界 面的向上移动及结晶时间的推移逐步降低，形成多工位、多温区控制，结晶区 工位的上部温区温度分别用J1a、J2a……Jna来表示，结晶区工位的下部温区 温度分别用J1b、J2b……Jnb来表示，在结晶区产品需要经过J1、J2……Jn数 个工位，随着工位由J1工位到Jn工位的逐步推移，上部温区温度J1a、J2a…… Jna设定为1436℃～1420℃之间，下部温区温度J1b、J2b……Jnb的设定温度 将逐步降低，由于工位由J1、J2……Jn的推移为步进式运动，每步进一个工位 的时间很短，产品长期处在静止状态，静止状态占到每个步进周期的95％，步 进式运动对产品整个温度梯度的影响可以忽略，随着工位由J1、J2……Jn的不 断步进式运动，在产品下部同一高度界面的温度不断降低，形成产品温度由下 向上定向凝固所需的温度梯度，实现产品的连续定向凝固。

2.如权利要求1所述的连续式多晶硅提纯结晶炉的加热装置，其特征在于： 温度传感器为热电偶，控温仪表为数显调压仪表。