[发明专利]利用多孔硅弹道电子发射的平面光源

权利要求书

1.一种利用多孔硅弹道电子发射的平面光源，包括由玻璃材料制成的相隔距离的前基板(1)和后基板(2)，在前、后基板(1、2)的相对的两个表面上均涂敷有荧光粉(6、7)，前、后基板(1、2)的四周有封接框以密封前、后基板(1、2)之间的空间，其特征在于，前、后基板(1、2)之间设置有相互平行的若干支撑条(13)，在每个支撑条(13)的每个侧面及与支撑条(13)平行的两条封接边(12)的内侧面上依次设置底电极(8)、多孔硅膜(9)和顶电极(10)，或设置有阳极(11)，底电极(8)、多孔硅膜(9)和顶电极(10)三者构成了产生弹道电子发射的多孔硅阴极，相邻支撑条(13)的相对的两个侧面上分别为多孔硅阴极和阳极(11)，相邻的支撑条(13)和封接边(12)的相对的两个侧面上分别为多孔硅阴极和阳极(11)。

2.如权利要求1所述的平面光源，其特征在于，其中在所述支撑条(13)的一个侧面上制备多孔硅阴极，在另一个侧面上设置阳极(11)，相邻支撑条(13)的相对的两个侧面上分别为多孔硅阴极和阳极(11)，在与支撑条(13)平行的两条封接边(12)的内侧面上设置多孔硅阴极或阳极(11)，相邻的支撑条(13)和封接边(12)的相对的两个侧面上分别为多孔硅阴极和阳极(11)，相邻的支撑条(13)之间及相邻的支撑条(13)和封接边(12)之间按照3-25mm的距离等间距设置。

3.如权利要求1所述的平面光源，其特征在于，其中所述支撑条(13)中的一部分的两个侧面上均制备多孔硅阴极，另一部分支撑条(13)的两个侧面上均制备阳极(11)，这两种支撑条(13)交替放置，以使相邻支撑条(13)的相对的两个侧面上分别为多孔硅阴极和阳极(11)，在与支撑条(13)平行的两条封接边(12)的侧面上制备多孔硅阴极或阳极(11)，相邻的支撑条(13)和封接边(12)的相对的两个侧面上分别为多孔硅阴极和阳极(11)，相邻的支撑条(13)之间及相邻的支撑条(13)和封接边(12)之间按照3-25mm的距离等间距设置。

4.如权利要求1所述的平面光源，其特征在于，在其中所述后基板的荧光粉层(7)下设有反射层(14)。

5.根据权利要求1所述的平面光源，其特征在于，其中所述底电极(8)选用Al、W、Cr、Ni或Mo材料，顶电极(10)选用Au或Pt材料，并采用磁控溅射或电子束真空蒸发镀膜工艺制备，顶电极的膜厚为5-20nm。

6.根据权利要求1所述的平面光源，其特征在于，其中所述阳极(11)采用氧化铟锡(ITO)、Ag、Al、Cr或Ni材料，并采用磁控溅射或电子束真空蒸发镀膜工艺制备，或者采用丝网印刷Ag浆料结合烧结工艺制作。

7.根据权利要求1所述的平面光源，其特征在于，其中所述荧光粉层(6、7)采用印刷法、旋涂法或喷涂法制作，其中前基板的荧光粉层(6)厚度为6-20μm，后基板上的荧光粉层(7)厚度为50-200μm，平面光源内部的气体采用纯氙气Xe或纯氪气Kr，或者是含Xe或含Kr的惰性混合气体。