[发明专利]电容式硅微机械雨量传感器

权利要求书

1.一种电容式硅微机械雨量传感器，其特征在于该传感器采用单晶硅膜(1)作为敏感材料，采用绝缘材料玻璃或陶瓷(3)作为绝缘衬底，用高掺杂的硅质量块(6)的下表面作为电容上电极，在硅质量块(6)的上表面是一层氧化硅(4)，绝缘衬底上溅射的金属(2)作为电容的下电极，上下电极图形一致，由多个单元形成一个2×2以上的二维阵列，且单元并联在一起，衬底与硅质量块(6)用导电胶(5)进行组装，器件制作完成之后，进行引线键合，然后在传感器上表面均匀涂敷一层硅橡胶使其完全密封。

2.根据权利要求1所述的电容式硅微机械雨量传感器，其特征在于采用单晶硅膜(1)作为敏感部分，同时作为电容的一个电极，且该电极在绝缘衬底上直接引出。

3.根据权利要求1或2所述的电容式硅微机械雨量传感器，其特征在于电容阵列单元中敏感膜都带有厚的硅质量块(6)，以减小与下电极的间距。