[发明专利]气磁混合悬浮型六自由度平面电机

权利要求书

1.一种气磁混合悬浮型六自由度平面电机，包括沿水平XY平面安放的定子基体(1)以及浮于定子基体(1)上且与定子基体(1)平行的动子基体(2)，其特征在于，定子基体(1)上表面四角分别嵌有第一Halbach永磁阵列(11)、第二Halbach永磁阵列(12)、第三Halbach永磁阵列(13)、第四Halbach永磁阵列(14)，其中，第一Halbach永磁阵列(11)和第三Halbach永磁阵列(13)的波长方向与X轴同向，第二Halbach永磁阵列(12)和第四Halbach永磁阵列(14)的波长方向与Y轴同向，动子基体(2)的下表面四角分别设有第一推力绕组(21)、第二推力绕组(22)、第三推力绕组(23)、第四推力绕组(24)，其中，第一推力绕组(21)和第三推力绕组(23)的波长方向与X轴同向，第二推力绕组(22)和第四推力绕组(24)的波长方向与Y轴同向，动子基体(2)的下表面四边分别设有第一气体静压轴承气垫(25)、第二气体静压轴承气垫(26)、第三气体静压轴承气垫(27)、第四气体静压轴承气垫(28)。

2.根据权利要求1所述的气磁混合悬浮型六自由度平面电机，其特征在于所述的Halbach永磁阵列(11)、(12)、(13)、(14)由4对磁极构成，每对磁极采用4块永磁体构成的四段式Halbach结构，其中第一块永磁体(H1)的磁化方向向下，第二块永磁体(H2)的磁化方向向右，第三块永磁体(H3)的磁化方向向上，第四块永磁体(H4)的磁化方向向左。

3.根据权利要求1所述的气磁混合悬浮型六自由度平面电机，其特征在于所述的推力绕组(21)、(22)、(23)、(24)采用无槽无铁芯的环型线圈表面缠绕结构，由2对极构成，每对极由6匝环型线圈构成三相绕组，其中第一匝环型线圈(W1)的下层边构成第一相绕组的第一有效边(A)、第四匝环型线圈(W4)的下层边构成第一相绕组的第二有效边(A′)，第二匝环型线圈(W2)的下层边构成第二相绕组的第一有效边(B)，第五匝环型线圈(W5)的下层边构成第二相绕组的第二有效边(B′)，第三匝环型线圈(W3)的下层边构成第三相绕组的第一有效边(C)，第六匝环型线圈(W6)的下层边构成第三相绕组的第二有效边(C′)。