[发明专利]芯片转盘式拾取装置无效
申请号: | 200910030225.0 | 申请日: | 2009-03-23 |
公开(公告)号: | CN101510522A | 公开(公告)日: | 2009-08-19 |
发明(设计)人: | 王琳;唐国强;陈云;顾方成;沈国平 | 申请(专利权)人: | 常州新区爱立德电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/677 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 | 代理人: | 王凌霄 |
地址: | 213022江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 转盘 拾取 装置 | ||
技术领域
本发明涉及芯片拾取装置,尤其涉及一种夹持半导体芯片进行高速转移的芯片转盘式拾取装置。
背景技术
半导体芯片体积微小,并且容易损坏,在测试分选过程中,芯片的拾取和转移是整个测试分选的基础,能否准确的转移芯片和保护芯片不致受损是非常重要的。各种芯片转移拾取装置被用来将芯片从芯片盒转移到测试的平台上,再从测试平台上转移到分BIN台上,但是目前市场上的芯片转移装置的转移速度较慢,工作效率也不高,使得芯片在拾取转移的过程中受损比较严重。
发明内容
本发明要解决的技术问题是:提出一种能迅速准确地将半导体芯片在芯片供料台与芯片测试台、芯片测试台与芯片分BIN台之间转移的芯片转盘式拾取装置。
本发明所采用的技术方案为:一种芯片转盘式拾取装置,所述的芯片转盘式拾取装置具有拾取芯片的机械手组件,所述的机械手组件转动连接有连杆驱动装置,机械手组件升降连接有凸轮升降装置。
本发明进一步包括所述的机械手组件具有机械手安装座和机械手,所述的机械手通过板簧和第一螺钉安装在机械手安装座上,机械手安装座上还设置有调节挡块,调节挡块上安装有第二螺钉,机械手上安装有第三螺钉,第三螺钉配有螺母,调节挡块与螺母之间设置有弹簧,机械手前端还设置有吸嘴,吸嘴连接有气管。
本发明的有益效果是:解决了背景技术中存在的缺陷,能准确的调定芯片拾取力的大小,有效地避免芯片在拾取转运过程中造成的损坏,降低了产品的不良率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的结构示意图;
图中:8、机械手安装座;12、机械手;19、板簧;15、调节挡块;9、第二螺钉;18、第三螺钉;17、螺母;16、弹簧;10、第四螺钉;13、吸嘴;14、气管。
具体实施方式
现在结合附图和优选实施例对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本发明的基本结构,因此其仅显示与本发明有关的构成。
如图1所示,一种芯片转盘式拾取装置,其特征在于:所述的芯片转盘式拾取装置具有拾取芯片的机械手组件,机械手组件具有机械手安装座8和机械手12,所述的机械手12通过板簧19和第一螺钉安装在机械手安装座8上,机械手安装座8上还设置有调节挡块15,调节挡块15上安装有第二螺钉9,机械手12上安装有第三螺钉18,第三螺钉18配有螺母17,调节挡块15与螺母17之间设置有弹簧16,机械手12前端还设置有吸嘴13,吸嘴13连接有气管14。所述的机械手组件转动连接有连杆驱动装置,机械手组件升降连接有凸轮升降装置。
本发明工作时,连杆驱动装置驱动机械手12旋转到芯片拾取点的上方,凸轮升降装置驱动机械手12下降到拾取位置。吸嘴13通过外部接入的真空吸取芯片。然后凸轮升降装置驱动机械手12离开拾取位置上升,连杆驱动装置驱动机械手12旋转到芯片放置点的上方,凸轮升降装置驱动机械手12下降到放置位置。吸嘴13通过外部接入的压缩空气与芯片脱离。然后凸轮升降装置驱动机械手12离开拾取位置上升。
本发明能准确调定芯片拾取力的大小,有效避免了芯片在拾取转运过程中造成的损坏,降低了产品的不良率。
以上述依据本发明的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造