[发明专利]芯片转盘式拾取装置无效

专利信息
申请号: 200910030225.0 申请日: 2009-03-23
公开(公告)号: CN101510522A 公开(公告)日: 2009-08-19
发明(设计)人: 王琳;唐国强;陈云;顾方成;沈国平 申请(专利权)人: 常州新区爱立德电子有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/677
代理公司: 常州市维益专利事务所 代理人: 王凌霄
地址: 213022江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 芯片 转盘 拾取 装置
【说明书】:

技术领域

发明涉及芯片拾取装置,尤其涉及一种夹持半导体芯片进行高速转移的芯片转盘式拾取装置。

背景技术

半导体芯片体积微小,并且容易损坏,在测试分选过程中,芯片的拾取和转移是整个测试分选的基础,能否准确的转移芯片和保护芯片不致受损是非常重要的。各种芯片转移拾取装置被用来将芯片从芯片盒转移到测试的平台上,再从测试平台上转移到分BIN台上,但是目前市场上的芯片转移装置的转移速度较慢,工作效率也不高,使得芯片在拾取转移的过程中受损比较严重。

发明内容

本发明要解决的技术问题是:提出一种能迅速准确地将半导体芯片在芯片供料台与芯片测试台、芯片测试台与芯片分BIN台之间转移的芯片转盘式拾取装置。

本发明所采用的技术方案为:一种芯片转盘式拾取装置,所述的芯片转盘式拾取装置具有拾取芯片的机械手组件,所述的机械手组件转动连接有连杆驱动装置,机械手组件升降连接有凸轮升降装置。

本发明进一步包括所述的机械手组件具有机械手安装座和机械手,所述的机械手通过板簧和第一螺钉安装在机械手安装座上,机械手安装座上还设置有调节挡块,调节挡块上安装有第二螺钉,机械手上安装有第三螺钉,第三螺钉配有螺母,调节挡块与螺母之间设置有弹簧,机械手前端还设置有吸嘴,吸嘴连接有气管。

本发明的有益效果是:解决了背景技术中存在的缺陷,能准确的调定芯片拾取力的大小,有效地避免芯片在拾取转运过程中造成的损坏,降低了产品的不良率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的结构示意图;

图中:8、机械手安装座;12、机械手;19、板簧;15、调节挡块;9、第二螺钉;18、第三螺钉;17、螺母;16、弹簧;10、第四螺钉;13、吸嘴;14、气管。

具体实施方式

现在结合附图和优选实施例对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本发明的基本结构,因此其仅显示与本发明有关的构成。

如图1所示,一种芯片转盘式拾取装置,其特征在于:所述的芯片转盘式拾取装置具有拾取芯片的机械手组件,机械手组件具有机械手安装座8和机械手12,所述的机械手12通过板簧19和第一螺钉安装在机械手安装座8上,机械手安装座8上还设置有调节挡块15,调节挡块15上安装有第二螺钉9,机械手12上安装有第三螺钉18,第三螺钉18配有螺母17,调节挡块15与螺母17之间设置有弹簧16,机械手12前端还设置有吸嘴13,吸嘴13连接有气管14。所述的机械手组件转动连接有连杆驱动装置,机械手组件升降连接有凸轮升降装置。

本发明工作时,连杆驱动装置驱动机械手12旋转到芯片拾取点的上方,凸轮升降装置驱动机械手12下降到拾取位置。吸嘴13通过外部接入的真空吸取芯片。然后凸轮升降装置驱动机械手12离开拾取位置上升,连杆驱动装置驱动机械手12旋转到芯片放置点的上方,凸轮升降装置驱动机械手12下降到放置位置。吸嘴13通过外部接入的压缩空气与芯片脱离。然后凸轮升降装置驱动机械手12离开拾取位置上升。

本发明能准确调定芯片拾取力的大小,有效避免了芯片在拾取转运过程中造成的损坏,降低了产品的不良率。

以上述依据本发明的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。

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