[发明专利]定时控制装置

说明书

【技术领域】

本发明是关于一种定时控制装置，特别是关于一种半导体制程中控制纯水管道导通与关断的定时控制装置。

【背景技术】

在半导体芯片的制造过程中，通常要经过多次形成氧化膜，然后蚀刻去除氧化膜的步骤。为在芯片制造过程中保证硅片的清洁、无杂质，需要对硅片进行多次清洗以去除掉蚀刻后残留在硅片上的氧化膜等一些杂质。通常地，采用高纯度无杂质的纯水来清洗半导体硅片。

在早期的硅片清洗机中，控制纯水的通断依靠的是手动开关，需要人工参与控制，因而流水冲洗时间无法精确标准化，有时会出现操作人员不在现场而导致纯水无控制地一直流溢，造成大量纯水浪费的现象。

为精确控制纯水的冲洗时间，现有的纯水清洗机开始采用自动化定时操作控制。目前广泛使用的纯水定时控制方式是采用触摸屏加可编程逻辑控制器(PLC)的控制。通过触摸屏实现人机对话，设定时间或者设定其他参数，再由PLC将输入的命令转化成电信号的控制命令，实现对电磁阀、气动阀的控制，从而实现自动化作业。此类控制逻辑中，计时功能由PLC编程实现。

然而此种自动控制的方法因采用了触摸屏及PLC控制而导致成本较高。在安装完成之后需要编定触摸屏的操作界面以及其按钮定义，另外还要编写PLC的控制时序，加上调试的时间，整个安装调试过程比较耗时。而且对自动控制的PLC编程，需要专门的PLC编程人员按要求进行编程，不同的PLC需要不同的编程软件和专业人员，调试起来比较复杂。

有鉴于此，确有必要提出一种新的自动控制的技术方案以克服现有技术的缺陷。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种操作简便，结构简单，成本较低的定时控制装置。

一种定时控制装置，包括：

主回路，包括第一电源、第一常开开关、第一常闭开关、第一继电器及第一计时器，所述第一计时器包括两个输入端与两个输出端，所述计时器的输出端与所述第一电源、第一常开开关、第一常闭开关及第一继电器相互串联；

计时驱动回路，连接于主回路的第一计时器的两个输入端，所述计时驱动回路包括第二电源、第二常开开关、第二常闭开关以及第二计时器，所述第二计时器的输出端与所述第二电源、第二常开开关、第二常闭开关串联，所述第二计时器的输出端两端并联设置有一个与所述第二常开开关联动的联动开关。

一种定时控制装置，包括控制电路、气压管道与气动阀，所述控制电路用于控制所述气压管道的通断，所述气动阀由所述气压管道内的气体驱动；其特征在于：所述控制电路包括：

主回路，包括电源、常开开关、常闭开关、继电器以及计时器，所述计时器包括两个输入端与两个输出端，计时器的输出端与电源、常开开关、常闭开关及继电器相互串联；

计时驱动回路，包括与所述主回路共用的所述电源、常开开关、常闭开关以及计时器，所述计时器的输出端两端并联设置有一个与所述常开开关联动的联动开关。

与现有技术相比，本发明定时控制装置，按下常开开关，则联动开关闭合，计时驱动回路通电，计时驱动回路加在计时器的输入端，计时器开始计时，主回路通电，继电器控制电磁阀导通并驱动气动阀打开纯水管道，计时结束则计时器输出端断开，主回路断电，电磁阀关闭，气动阀关断纯水管道。本发明定时控制装置操作简便，结构简单，成本较低。

【附图说明】

附图为本发明的定时控制装置的示意图。

【具体实施方式】

如图所示，本发明的定时控制装置1可用于半导体制程中自动定时控制纯水管道2的导通与关断。

如图所示，半导体清洗设备包括一条输送纯水的纯水管道2，并在纯水管道2的一端设置有一个手动的开关阀3，用于手动控制纯水管道2的导通与关断。

本发明纯水定时控制装置1包括设置于纯水管道2另一端的一个气动阀4，与该气动阀4连接有一条气压管道5，气体经由气压管道5的输送至气动阀4，以驱动气动阀4的打开。在正常工作中，手动的开关阀3处于打开状态，由气动阀4自动控制纯水管道2的导通与关断，紧急情况下可以关闭手动开关阀3，切断纯水管道2的供水。

本发明纯水定时控制装置1还包括控制电路，用于控制驱动气动阀4的气压管道5的气体的流通。

该控制电路包括主回路10及计时驱动回路20。