[发明专利]一种石英连熔炉超声脱气方法

权利要求书

1.一种石英连熔炉超声脱气方法，其特征在于：通过超声传导棒将超声波换能器的能量传导至坩锅内部的石英熔浆，所述超声传导棒设有A、B两段，A段为中空的、内填充耐高温硅油的导管，B段为实芯棒体，B段的实芯棒体的内端与坩埚固连为一体，A段的导管的外端与超声波换能器相连接，在A段的导管外设有循环冷却装置，防止超声波在A、B段交接点产生驻波，即应保证超声波在A段的实际传输距离不能等于或者接近1/2波长的整数倍。

2.根据权利要求1所述的石英连熔炉超声脱气方法，其特征在于：超声传导棒与连熔炉的坩埚侧壁垂直设置，超声传导棒设有上下两层，每层均匀设置至少两根。

3.根据权利要求1所述的石英连熔炉超声脱气方法，其特征在于：超声传导棒竖向从坩埚底部的料台穿过，超声传导棒分为两组，每组至少均匀设置两根，两组传导棒的上端分别设置在坩埚内的均化澄清层和成形层内。