[发明专利]双光路绿光微孔加工装置无效
| 申请号： | 200910031354.1 | 申请日： | 2009-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101569962A | 公开（公告）日： | 2009-11-04 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;郭良 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/06;B23K26/04 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈忠辉 |
| 地址： | 215021江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 双光路绿光 微孔 加工 装置 | ||
【权利要求书】：
1.双光路绿光微孔加工装置，包括皮秒脉冲激光器、纳秒脉冲激光器、光路校准系统和光学聚焦系统，其特征在于：所述皮秒脉冲激光器的输出端布置有第一反射镜，所述纳秒脉冲激光器的输出端布置有第二反射镜，第一反射镜和第二反射镜均与第三反射镜相衔接，第三反射镜的输出端设置光闸，光闸的输出端连接有扩束镜，扩束镜的输出端衔接有第四反射镜，第四反射镜通过光路校准系统与光学聚焦系统相衔接。
2.根据权利要求1所述的双光路绿光微孔加工装置，其特征在于：所述第一反射镜安装在电动一维平移台上。
3.根据权利要求1所述的双光路绿光微孔加工装置，其特征在于：所述皮秒脉冲激光器和纳秒脉冲激光器输出的激光均为绿色激光，波长为532nm。
4.根据权利要求1所述的双光路绿光微孔加工装置，其特征在于：所述扩束镜的放大倍率为3～10倍。
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