[发明专利]彩色滤光片制程中用的边胶清洗剂

说明书

技术领域

本发明涉及一种清洗剂，尤其涉及彩色滤光片(CF)制程中彩色光刻胶涂胶后边胶清洗时所用的边胶清洗剂。

背景技术

彩色滤光片是液晶显示器的重要组成部件，液晶显示器能呈现彩色影像，主要依靠彩色滤光片。背光源的白光透过液晶层，照射到彩色滤光片，通过彩色滤光片对应每个像素上的红、绿、蓝三色颜料光阻，形成红、绿、蓝色光，最后在人眼中混合形成彩色影像。彩色滤光片是TFT—LCD面板中成本比重最大的零组件，如15英寸面板的材料成本中，彩色滤光片约占24％。因此彩色滤光片的质量及其技术发展对液晶显示器至关重要。

彩色滤光片由玻璃基板、黑色矩阵、彩色层、保护层及ITO导电膜等组成。其中玻璃为彩色滤光片的载体，通常LCD面板要求使用相同型号的玻璃，以免在制程中因热膨胀不同而影响良品率。TFT—LCD使用的彩色滤光片玻璃必须是无碱玻璃，其成本占彩色滤光片成本的一半以上。黑色矩阵的主要作用是区隔各种颜色层，作为对比之用，并可避免光电流的产生。彩色层具有滤光功能，一般应具有耐热性佳、色彩饱和度高与穿透性好等特点；彩色层的每个像素由红、绿、蓝三个子像素构成，三个子像素的排布方式有条型、品字型和马赛克型等。保护层的主要功能是保护彩色层和增加表面的平滑性，并兼作黑色矩阵与透明电极(ITO)层的绝缘层，以及隔离液晶与防止污染等作用。ITO透明导电层作为液晶显示器的一个电极，与阵列基板的对应电极构成正负极以驱动液晶分子。

彩色滤光片的制备工艺一直以涂布光刻为主，在玻璃基板尺寸较小的生产线上，制程工艺基本以中央滴下加旋转涂布为主。因为旋转的速度很快，当玻璃基板尺寸增大时，设备的制造以及薄膜涂布均匀性控制将非常困难，因此在高世代生产线上，厂商将其改为狭缝涂布加旋转涂布工艺，但是这种涂布方式有Edge Bead(边胶)的问题。因此在干燥前(后)需要进行Edge Bead Remover(边胶去除)。

根据目前边胶清洗技术，光阻在涂膜并干燥后，虽可以用边胶清洗剂来清洗边胶，但是在清洗时却容易产生颗粒或未溶解物的残存，且这些边胶清洗剂由于添加表面活性剂，边胶清洗时，当边胶清洗剂中有空气时，边胶清洗剂就会发泡，这些泡沫消泡不充分时就会在边胶清洗剂中积蓄。随着在边胶清洗剂中溶解或分散的光阻成份的增加，边胶清洗剂中产生泡沫难以消除。这些泡沫阻碍边胶清洗剂与光阻的接触，从而引起不能清洗边胶的问题。另外，对于目前主要使用的喷射清洗，通过喷射将边胶清洗剂喷射到基板进行清洗，在边胶清洗剂中更容易引起发泡。

CF制程中用的边胶清洗剂(EBR)，主要是FuJifilm-Olin，JSR，Toyo Ink等少数日本公司所垄断，表面活性剂加入，会在边胶清洗剂中凝聚，形成油状的浮渣，浮渣附在光阻或基板表面，从而导致基材受到污染。而且表面活性剂在其使用初期，虽然具有一定的消泡作用，但是随着在边胶清洗剂中分解光阻成分的增加，消泡效果急剧下降。

中国专利200510115433.2公开了一种边胶清洗剂，含有碱性化合物、表面活性剂和溶剂，其表面活性剂为Demini型表面活性剂，虽然消泡性与稳定性不错，但是成本较高，不具有市场竟争力。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种彩色滤光片(CF)制程中彩色光刻胶涂胶后边胶清洗时所用的边胶清洗剂。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：

彩色滤光片制程中用的边胶清洗剂，其组分具有如下的重量百分比：水溶性有机胺化合物1～60wt％，苯芳香醇类有机溶剂1～60wt％，水3～80wt％。

进一步地，上述的彩色滤光片制程中用的边胶清洗剂，其中，所述的水溶性有机胺化合物是乙醇胺、或者是三乙醇胺、或者是二乙醇胺、或者是其中二者或三者的混合物。

更进一步地，上述的彩色滤光片制程中用的边胶清洗剂，其中，所述的苯芳香醇类有机溶剂是以下物质之一，苯甲醇、苯乙醇、苯丙醇、苯丁醇、苯戊醇、苯己醇或者这六种物质的衍生物。

更进一步地，上述的彩色滤光片制程中用的边胶清洗剂，其中，所述的水为电阻高于或等于18MΩ的纯水。

再进一步地，上述的彩色滤光片制程中用的边胶清洗剂，其组分：水溶性有机胺化合物10～50wt％，苯芳香醇类有机溶剂10～50wt％，水10～40wt％。

本发明技术方案突出的实质性特点和显著的进步主要体现在：