[发明专利]多晶硅铸锭设备的漏硅检测结构

说明书

技术领域

本发明涉及多晶硅的生产设备，具体是一种多晶硅铸锭设备的漏硅检测结构。

背景技术

多晶铸锭设备的中用来加热熔融硅原料的设备通常如附图1所示，包括有：坩埚1、位于坩埚外侧的护板2、位于坩埚下方并与护板下端连接的石墨底板3、位于石墨底板下方的塞条组合4、位于塞条组合下方的底板组合5、位于底板组合下方的隔热板6及位于隔热板下方的检测丝7。其工作过程中，如果发生漏硅，坩埚1中的硅液经过护板2和石墨底板3的间隙流出，沿塞条组合4和底板组合5的边缘往下淌，后经过隔热板6的溢流孔，最后掉落到漏硅检测丝7上，检测丝探测到漏硅后，由PLC发出报警信号，报警器报警提示操作工处理。从上面可以看出，如果发生漏硅，硅液首先会在坩埚护板2和坩埚1的间隙间积聚，即使有少量硅液从石墨底板3和护板2间的间隙溢出，也会被塞条组合4和底板组合5吸收，不能被检测系统第一时间检测到，因而会延误处理，造成设备较大的损失。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种能够及时检测到设备漏硅、减少设备损失的多晶硅铸锭设备的漏硅检测结构。

本发明的多晶硅铸锭设备的漏硅检测结构包括有坩埚、位于坩埚外侧的护板、位于坩埚下方并与护板下端连接的石墨底板、位于石墨底板下方的塞条组合、位于塞条组合下方的底板组合、位于底板组合下方的隔热板及位于隔热板下方的检测丝，其特征是：所述石墨底板、塞条组合及底板组合的边缘设置有上下贯通的溢流孔。

本发明在传统设备的结构基础上，在石墨底板，塞条组合和底板组合上增加了溢流孔。如果发生漏硅可以在第一时间溢流到隔热板及检测丝上而被检测到，使工作人员能第一时间采取措施，避免更大的损失。

附图说明

图1是本发明结构所应用的多晶硅铸锭设备的部件结构示意图；

图2是本发明结构中的石墨底板的结构示意图；

图3是本发明结构中的塞条组合的结构示意图；

图4是本发明结构中的底板组合的结构示意图。

具体实施方式

如图所示，该多晶硅铸锭设备的漏硅检测结构包括有坩埚1、位于坩埚外侧的护板2、位于坩埚下方并与护板下端连接的石墨底板3、位于石墨底板下方的塞条组合4、位于塞条组合下方的底板组合5、位于底板组合下方的隔热板6及位于隔热板下方的检测丝7，石墨底板3、塞条组合4及底板组合5的边缘设置有上下贯通的溢流孔8，该结构在工作过程中，当坩埚内的硅液发生泄漏时，硅液可以从溢流孔8迅速滴出而被检测丝检测到，以便采取相应措施，防止更大损失。