[发明专利]基于微悬臂梁结构的介电伸缩系数测量方法

权利要求书

1.一种基于微悬臂梁结构的介电伸缩系数测量方法，其特征在于采用微加工工艺制作的悬臂梁样品进行测量，具体包括：

第一步：将测试样品(1)固定在PCB板(2)上，探针(3)从正面或背面对悬臂梁自由端加载集中力，背面加载时，PCB板(2)由支架(4)支撑，探针通过PCB板(2)上的通孔(5)加载，

第二步：在悬臂梁固支端由金属(6)、待测介质薄膜(7)以及N⁺硅膜(8)组成的检测电容(9)处，通过栅线投影相关法测量检测悬臂梁的形变，进而确定待测介质薄膜中的应力载荷，

第三步：由LCR测试仪测量检测电容在不同应力下的电容变化情况，

第四步：由电容变化量提取待测介质薄膜的介电常数变化量，

第五步：得出介电常数随应力变化的材料系数，即介电伸缩系数。

2.根据权利要求1所述的基于微悬臂梁结构的介电伸缩系数测量方法，其特征是，在悬臂梁自由端进行集中力加载，使得悬臂梁弯曲，由此实现对检测电容中待测介质薄膜进行应力加载。

3.根据权利要求1所述的基于微悬臂梁结构的介电伸缩系数测量方法，其特征是，检测电容位于悬臂梁固支端，悬臂梁固支端结构为金属/介质/低阻硅形成的三明治结构。

4.根据权利要求1所述的基于微悬臂梁结构的介电伸缩系数测量方法，其特征是在悬臂梁自由端制作加载点定位标记，便于精确加载位置。