[发明专利]绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法无效
| 申请号： | 200910037055.9 | 申请日： | 2009-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN101524819A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 魏昕;谢小柱;胡伟;郭晓艳;谢昕;黄加福 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利代理有限公司 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510006广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光和 紫外光 激光 抛光 蓝宝石 复合 工艺 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法，其特征在于包括有如下步骤：
1)用绿光激光扫描抛光蓝宝石晶片的表面；
2)再用紫外光激光抛光绿光激光抛光过的蓝宝石晶片的表面。
2、根据权利要求1所述的绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法，其特征在于上述绿光激光和紫外光激光为脉冲式激光。
3、根据权利要求2所述的绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法，其特征在于上述绿光激光波长λ为532nm，能量密度为3～20J/cm2，脉宽10ns。
4、根据权利要求2所述的绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法，其特征在于上述紫外光激光波长为266～355nm，能量密度为3～20J/cm2，大于等于脉宽10ns。
5、根据权利要求1至4任一项所述的绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法，其特征在于上述绿光激光及紫外光激光的光束入射角为0～80°。
6、根据权利要求5所述的绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法，其特征在于上述光束入射角是光束与蓝宝石晶片表面法线方向的夹角。
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