[发明专利]金属及金属氧化物蚀刻油墨及其制备方法与应用有效

专利信息
申请号: 200910037067.1 申请日: 2009-02-05
公开(公告)号: CN101481616A 公开(公告)日: 2009-07-15
发明(设计)人: 杨胜利;彭朝斌;李晓华 申请(专利权)人: 广州市和携化工科技有限公司;上达电子(深圳)有限公司
主分类号: C09K13/00 分类号: C09K13/00;H01L21/311;H01L21/3213
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 代理人: 杨晓松
地址: 510725广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 金属 氧化物 蚀刻 油墨 及其 制备 方法 应用
【权利要求书】:

1.一种金属及金属氧化物蚀刻油墨,其特征在于由以下重量份的原料组 分制备得到:非挥发性酸10~40份、水溶性高分子聚合物10~50份、水10~ 50份和油墨助剂;所述油墨助剂包括流平剂0.1~1份,消泡剂0.1~1份和润 湿剂0.1~1份;所述非挥发性酸为硫酸、磷酸、草酸和酒石酸中的至少一种; 所述水溶性高分子聚合物包括水溶性聚氨酯、聚丙烯酰胺、聚乙二醇、聚丙 二醇、聚乙烯醇、糊精、明胶、阿拉伯胶和淀粉中的至少两种。

2.根据权利要求1所述的金属及金属氧化物蚀刻油墨,其特征在于由以 下重量份的原料组分制备得到:非挥发性酸25~38份、水溶性高分子聚合物 20~35份、水20~40份和油墨助剂;所述油墨助剂包括流平剂0.2~0.5份, 消泡剂0.2~0.5份和润湿剂0.2~0.5份。

3.根据权利要求1或2所述的金属及金属氧化物蚀刻油墨,其特征在于: 所述的消泡剂为德国毕克化学公司的BYK-323或BYK-052;所述流平剂 为德国毕克化学公司的BYK-333或BYK-300;所述润湿剂为德国毕克化 学公司的BYK-161或法国罗地亚公司的IGEPAL CA-630。

4.根据权利要求1所述的金属及金属氧化物蚀刻油墨,其特征在于:

所述水溶性高分子聚合物为聚乙二醇、聚乙烯醇、糊精、明胶、阿拉伯胶和 淀粉中的至少两种。

5.根据权利要求1所述的金属及金属氧化物蚀刻油墨,其特征在于:

所述非挥发性酸为磷酸、草酸或二者的混合物;所述聚乙二醇或聚乙烯醇的 分子量在1000~10000之间。

6.根据权利要求1所述的金属及金属氧化物蚀刻油墨,其特征在于:所 述水溶性聚氨酯、聚丙烯酰胺、聚乙二醇、聚丙二醇或聚乙烯醇的分子量在 1000~10000之间。

7.一种权利要求1所述的金属及金属氧化物蚀刻油墨的制备方法,其特 征在于包括以下步骤:首先将所述水溶性高分子聚合物中的一种和水均匀混 合,然后在50~100度下加入所述非挥发性酸反应1~10小时,冷却到30~ 40度后,再加入其它水溶性高分子聚合物,保温1~5小时后,加入所述油墨 助剂,混匀即得到所述金属及金属氧化物蚀刻油墨。

8.根据权利要求7所述的金属及金属氧化物蚀刻油墨制备方法,其特征 在于包括以下步骤:首先将所述水溶性高分子聚合物中的一种和水均匀混合, 然后在60~80度下加入所述非挥发性酸反应2~4小时,冷却到30~40度后, 再加入其它水溶性高分子聚合物,保温2~3小时后,加入所述油墨助剂,混 匀即得到所述金属及金属氧化物蚀刻油墨。

9.权利要求1所述金属及金属氧化物蚀刻油墨应用于蚀刻金属及金属氧 化物。

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