[发明专利]一种利用激光诱导铝热反应制备太阳电池背面点接触电极的方法有效
申请号: | 200910038945.1 | 申请日: | 2009-04-24 |
公开(公告)号: | CN101546790A | 公开(公告)日: | 2009-09-30 |
发明(设计)人: | 沈辉;张陆成;陈达明 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人: | 李海波 |
地址: | 510275广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 利用 激光 诱导 反应 制备 太阳电池 面点 接触 电极 方法 | ||
1.一种利用激光诱导铝热反应制备太阳电池背面点接触电极的方法,其特征在于,首先在硅基体的背面镀钝化介质层,然后在钝化介质层上蒸镀铝层,再在铝层上印刷或涂敷铝热剂,然后用激光辐照点燃铝热剂,引发铝热反应产生550℃以上的高温,从而使铝层与硅基体熔融后结晶,最终形成欧姆接触和铝背场。
2.根据权利要求1所述的利用激光诱导铝热反应制备太阳电池背面点接触电极的方法,其特征在于,所述的铝热剂呈点状,以一定阵列排布在铝层上。
3.根据权利要求1所述的利用激光诱导铝热反应制备太阳电池背面点接触电极的方法,其特征在于,所述的铝层厚度为0.1~10um。
4.根据权利要求1所述的利用激光诱导铝热反应制备太阳电池背面点接触电极的方法,其特征在于,所述的硅基体为p型单晶硅片或p型多晶硅片。
5.根据权利要求1所述的利用激光诱导铝热反应制备太阳电池背面点接触电极的方法,其特征在于,所述的铝热剂是由还原性单质金属粉和金属氧化物组成,其中还原性单质金属粉占铝热剂的重量比例为2~30%。
6.根据权利要求5所述的利用激光诱导铝热反应制备太阳电池背面点接触电极的方法,其特征在于,所述的还原性单质金属粉为铝粉或镁粉。
7.根据权利要求5所述的利用激光诱导铝热反应制备太阳电池背面点接触电极的方法,其特征在于,所述的金属氧化物为氧化铜或氧化钛。
8.根据权利要求1所述的利用激光诱导铝热反应制备太阳电池背面点接触电极的方法,其特征在于,所述的铝热反应产生550℃以上的高温,并将550℃以上的高温传递给蒸镀在硅片上的铝层,使铝元素溶解在硅基体中形成欧姆接触。
9.根据权利要求1所述的利用激光诱导铝热反应制备太阳电池背面点接触电极的方法,其特征在于,所述的铝热反应产生550℃以上的高温,并将550℃以上的高温传递给蒸镀在硅片上的铝层,使铝元素溶解在硅基体中形成铝背场。
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