[发明专利]一种钛酸铋铁电薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200910039335.3 | 申请日： | 2009-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101560095A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 包定华;刘为方 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C04B35/475 | 分类号： | C04B35/475;C04B35/624;C04B41/50 |
| 代理公司： | 广州粤高专利代理有限公司 | 代理人： | 陈 卫 |
| 地址： | 510275广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钛酸铋铁电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种钛酸铋铁电薄膜，其特征在于该铁电薄膜是镍与稀土共掺杂钛酸铋铁电薄膜，其化学式为(Bi4-xLnx)(Ti3-yNiy)O12，其中，x大于等于0小于等于0.85，y大于等于0小于等于0.1，稀土为钕、镧、镨、镝、钬、铒、铕、铥或镱。
2、一种制备权利要求1所述钛酸铋铁电薄膜的方法，其特征在于该方法是采用溶胶凝胶法，具体步骤为：
(1)配制镍与稀土共掺杂钛酸铋前驱体溶液；
(2)将步骤(1)所得前驱体溶液旋涂在基片上镀膜，经烤胶和退火处理后，得到所需(Bi4-xLnx)(Ti3-yNiy)O12薄膜。
3、根据权利要求2所述制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，硝酸铋在化学计量比基础上过量10％。
4、根据权利要求2所述制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，旋涂镀膜时的旋转速度为2500～3500转/分钟，旋转时间为20～40s，退火处理的退火温度为600～750℃，退火时间为20～60min。
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