[发明专利]基片传输机构

权利要求书

1.一种基片传输机构，包括驱动装置、主传动装置、底板及两个次传动装置，所述驱动装置与所述主传动装置连接，两个次传动装置呈平行的连接于所述底板两侧且分别与所述主传动装置连接，所述两次传动装置之间形成传送区域，所述驱动装置驱动所述主传动装置，所述主传动装置同步的驱动两所述次传动装置，其特征在于：所述次传动装置包括轴承箱、磁传动轴、第一斜齿轮及多个相互对应的第一永磁齿轮和磁传输单元，所述轴承箱连接于所述底板上，所述磁传输单元呈平行的枢接于所述轴承箱上，且所述磁传输单元具有伸入所述传送区域的滚轮；所述第一斜齿轮固定于所述磁传动轴上，所述主传动装置具有与所述第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮，所述第一斜齿轮与第二斜齿轮的轴向相互垂直，所述第一永磁齿轮固定于所述磁传动轴上，所述磁传输单元具有与所述第一永磁齿轮相对应的第二永磁齿轮，所述第一永磁齿轮与第二永磁齿轮轴向相互垂直，所述第一永磁齿轮通过磁场驱动所述第二永磁齿轮。

2.如权利要求1所述的基片传输机构，其特征在于：所述磁传输单元还包括与所述第二永磁齿轮固定连接的滚轮轴，所述滚轮轴与所述轴承箱枢接，所述滚轮轴的一端穿过所述轴承箱并伸入传送区域内与所述滚轮连接。

3.如权利要求2所述的基片传输机构，其特征在于：所述磁传输单元还包括垫圈，所述垫圈连接于朝向传送区域的所述滚轮的一侧，且所述滚轮与所述垫圈形成台阶。

4.如权利要求3所述的基片传输机构，其特征在于：所述磁传输单元还包括轴套，所述轴套连接于伸入所述传送区域内的滚轮轴的一端上，所述垫圈及滚轮依次连接于所述轴套上。

5.如权利要求2所述的基片传输机构，其特征在于：所述轴承箱呈中空结构，所述中空结构形成安装槽，所述滚轮轴枢接于所述安装槽的两侧壁上，且所述第二永磁齿轮位于所述安装槽内。

6.如权利要求5所述的基片传输机构，其特征在于：所述次传动装置还包括轴承座，所述轴承座安装于所述安装槽内，所述磁传动轴枢接于所述轴承座上，且固定于所述磁传动轴上的第一永磁齿轮位于所述第二永磁齿轮正下方。

7.如权利要求5所述的基片传输机构，其特征在于：所述主传动装置还包括输入轴，所述输入轴与所述驱动装置连接，所述第二斜齿轮位于所述安装槽内并固定于所述输入轴上。

8.如权利要求6所述的基片传输机构，其特征在于：所述轴承座或/和所述轴承箱上安装有传感器。

9.如权利要求1所述的基片传输机构，其特征在于：所述驱动装置为伺服电机。