[发明专利]手动升降机构

说明书

技术领域

本发明涉及一种升降机构，尤其涉及一种通过缓和升降的方式对半导体设备中腔体门或盖板进行缓和开启和关闭的手动升降机构。

背景技术

随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要求。

例如，对真空环境要求极高的数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED显示屏就是数码产品中的一种新产品，OLED即有机发光二极管(OrganicLight-Emitting Diode)，又称为有机电激光显示(Organic ElectroluminesenceDisplay，OELD)，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，且是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；但OLED显示屏幕与传统的TFT-LCD显示屏幕并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏幕可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制造OLED显示屏幕的所有设备必须要保证OLED显示屏幕的精度要求。OLED的基片材料为非常薄且易碎的玻璃，在OLED的基片制作工序及后续工艺中，有很多工序在具有真空环境下真空腔室内完成，为了保证OLED的质量和精度，需要定期对真空腔室进行检修，因此，需要为腔体配备一个能使腔体门缓和开启和关闭的手动升降机构。

升降机构运用的场合极为广泛，且升降机构的设计常因使用目的不同而设计出不同的结构。在半导体工艺中，特别是在清洗、刻蚀、氧化、化学和物理气相沉积等过程中，需要用到腔体。有时候为了保证腔体内的真空质量，需要定期或不定期的对腔体内的部件进行清理和维护，因此，当需要在腔体内部维修或者是拆装部件时就需要一套可以打开和闭合腔室门或者盖板的升降机构。而升降机构设计是否合理就直接影响真空效果，生产效率等。

现有技术中有一种汽缸式升降机构，盖板在气缸的作用下，实现盖板的升降运动。此种机构一般只能开启一定的角度。当需要将盖板升的较高时，又会使汽缸臂导轨非常的长，占用较大的空间并影响外观。

在某些时候腔室门或者盖板开启的角度就决定了在腔室内部操作的方便性，直接影响了生产效率。

因此，需要一种操作方便、结构紧凑、连接可靠的升降机构。

发明内容

本发明的目的在于提供一种操作方便、结构紧凑、连接可靠的能缓和升降的手动升降机构。

为了实现上述目的，本发明提供一种手动升降机构，包括壳体、手轮、传动机构及推动机构，所述手轮安装于所述壳体外，并与所述传动机构连接，所述传动机构安装于所述壳体内，并与所述推动机构连接，所述手轮驱动所述传动机构，所述传动机构带动所述推动机构做弧形运动，其中，所述传动机构包括蜗杆、第一级齿轮、第二级齿轮，第三级齿轮，所述第一级齿轮具有蜗轮、第一齿轮及第一传动轴，所述第二级齿轮具有第二齿轮、第三齿轮及第二传动轴，所述第三级齿轮包括扇形齿轮、第三传动轴及轴承，所述第一传动轴、第二传动轴及第三传动轴轴线平行，所述第一传动轴、第二传动轴枢接于所述壳体内，所述蜗杆的一端与所述手轮固定连接，另一端与所述蜗轮啮合，所述蜗轮与所述第一齿轮固定于所述第一传动轴上，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合，所述第二齿轮与所述第三齿轮固定于所述第二传动轴上，所述第三齿轮与所述扇形齿轮啮合，所述扇形齿轮固定安装于所述第三传动轴上，所述轴承镶嵌并固定于所述壳体上，所述第三传动轴穿过所述壳体并安装于所述轴承上，所述第三传动轴两端与所述推动机构固定连接。

较佳地，所述推动机构包括两连板及夹板，所述连板的一端分别与所述第三传动轴的两端固定连接，另一端分别与所述夹板的两端固定连接。所述连板连接于所述第三传动轴两端可将第三传动轴输出的扭力传导到所述夹板，使所述夹板绕所述第三传动轴转动。

较佳地，所述蜗杆为单头蜗杆。单头蜗杆具自锁性，可实现任意位置的自锁，防止所述传动机构反向转动。

较佳地，所述扇形齿轮的扇形角度为介于85°到100°之间。使用扇形齿轮可有效减少所述手动升降机构的占用空间，结构紧凑。