[发明专利]自动化同步升降系统在审

专利信息
申请号: 200910041512.1 申请日: 2009-07-29
公开(公告)号: CN101655673A 公开(公告)日: 2010-02-24
发明(设计)人: 杨明生;范继良;王学敬;张永红;王曼媛;王勇 申请(专利权)人: 东莞宏威数码机械有限公司
主分类号: G03F9/00 分类号: G03F9/00;H01L51/56
代理公司: 广州三环专利代理有限公司 代理人: 张艳美;郝传鑫
地址: 523081广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 自动化 同步 升降 系统
【说明书】:

技术领域

发明涉及同步传动系统,更具体地涉及一种用于真空薄膜行业的掩膜与基板的精确贴合与分离的自动化同步升降系统。

背景技术

同步运动机构,比如同步传送机构、同步升降机构,在工业设备中应用领域非常广泛,如各种同步升降平台、绞线机的收线盘和放线盘的线速度、设备的某个部件需要开启时的升降运动等等。尤其,在一些需要精密的同步运动的场合,同步传送机构、同步升降机构的运动精度和自动化程度往往成为设备运行好坏的关键。要提高同步运动机构的精度,传统的方法是在以往的同步机构,如链条的同步升降机构、液压同步升降机构等附加精密导向装置。

同样,在真空薄膜领域,如有机发光显示(OLED)图形化膜层的生成,往往需要进行多次的掩膜(MASK)与基板的结合和分离。为了便于此操作的标准化进行,一般是采用一个升降装置将掩膜(MASK)或基板提高到指定的位置,独立丝杆支撑的掩膜(MASK)工作台进行升降位置操作,一般升降动力为人工手动操作。人工手动操作的缺点是升降精度不高、操作缓慢、效率低、自动化程度受到限制,无法满足量化生产的要求。然而随着真空薄膜行业的发展,真空薄膜工艺的日益成熟,基板和掩膜的面积逐渐增大,对其工作的效率也有了较高的要求,往往需要量化操作,况且传统手动操作的升降机构已经不能达到产品量化的要求。现有的掩膜升降装置就会出现对位和传动精度不够、生产周期长,人工操作依赖性高等缺点。

因此,有必要提供一种传动精度高、生产周期短,人工操作依赖性低下的自动化同步升降系统,来克服上述缺陷。

发明内容

本发明的目的是提供一种传动精度高、生产周期短,人工操作依赖性低下的自动化同步升降系统。

为了实现上述目的,本发明提供了一种自动化同步升降系统,包括电连接的处理器、电机控制器、监测系统、升降机构及工作台,所述监测系统监测所述工作台的位置,并将所述工作台的位置信息转化成电信号发送到所述处理器进行处理,所述处理器将处理结果发送到所述电机控制器,所述电机控制器根据所述处理器的处理结果控制所述升降机构,所述升降机构驱动所述工作台做直线往复运动,其中,所述升降机构包括安装板、同步带、外部电机、主动丝杆、从动丝杆、主动螺母及从动螺母,所述安装板呈平板状,所述主动丝杆和所述从动丝杆相互平行的与所述安装板枢接,所述主动丝杆上具有主动轮,所述从动丝杆上具有与所述主动轮位于同一高度的从动轮,所述同步带缠于所述主动轮与所述从动轮上,所述主动螺母与所述主动丝杆啮合,所述从动螺母与所述从动丝杆啮合,所述主动螺母与所述从动螺母分别与所述工作台固定连接,所述主动丝杆与所述外部电机连接,所述外部电机与所述电机控制器电连接。

较佳地,所述工作台呈平板状,且所述主动螺母与所述从动螺母位于同一高度。设置所述工作台为平板状,使置于所述工作台上的物质水平放置,所述主动螺母与所述从动螺母位于同一高度是能保证所述工作台水平升降的前提。

较佳地,所述监测系统包括传感器反馈系统及限位开关。由于所述传感器反馈系统可以感知所述工作台的位置,并将所述工作台的位置的信息转化为电信号反馈到所述处理器;而所述限位开关处于锁定或者开锁的状态,所述限位开关处于锁定状态时,所述工作台不能自由升降,所述限位开关处于开锁状态时,所述工作台可以随着所述主动丝杆或者所述从动丝杆自由升降。

较佳地,所述传感器反馈系统采用闭环反馈系统。采用闭环反馈系统的优点是控制精度高、结构简单、容易装拆。

较佳地,所述处理器为可编程逻辑控制器。所述可编程逻辑控制器硬件电路和编程设计都为广大业内工作人员熟练掌握,接受程度较高,容易推广,从而有助于节约成本。

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