[发明专利]一种超薄预镀层引线框及其制备方法有效
申请号: | 200910041700.4 | 申请日: | 2009-08-07 |
公开(公告)号: | CN101626007A | 公开(公告)日: | 2010-01-13 |
发明(设计)人: | 刘立林;张统一 | 申请(专利权)人: | 广州市香港科大霍英东研究院 |
主分类号: | H01L23/495 | 分类号: | H01L23/495;H01L21/48 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人: | 周克佑 |
地址: | 511458广东省广州市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 超薄 镀层 引线 及其 制备 方法 | ||
1.一种超薄预镀引线框,包括高织构铜合金基体,其特征在于:所述铜合金基体上依次电沉积纳米级的锡、镍、钯和金金属层,所述的铜合金基体引线框架具有高面外织构{100}、{110}或{111},其织构度大于70%,所述锡金属层的厚度小于10nm,通过互扩散反应原位形成铜-锡-镍金属间化合物IMC层;或者在所述铜合金基体上依次电沉积纳米级的第一镍金属层、锡金属层、第二镍金属层、钯金属层和金金属层,所述的铜合金基体引线框架具有高面外织构{100}、{110}或{111},其织构度大于70%,所述锡金属层的厚度小于10nm,通过互扩散反应原位形成镍-锡金属间化合物IMC层。
2.根据权利要求1所述的超薄预镀引线框,其特征在于:所述的第一镍金属层厚度小于第二镍金属层。
3.一种制备如权利要求1至2所述的任意一项超薄预镀引线框的方法,其特征在于:包括以下步骤:
(1)对引线框铜合金基体进行活化处理,具体步骤为:首先将引线框采用8%-20%硫酸溶液先浸泡10-30s,然后用去离子水进行冲洗;然后再把引线框浸入8%-20%的盐酸溶液中,浸泡时间为10-30s,然后用去离子水清洗后吹干;
(2)在引线框铜合金基体上,用高频脉冲电流电沉积一层纳米级厚度的锡金属层,采用的高频脉冲电流的工作频率为200Hz-500Hz,电流密度为0.1-2A/dm2,所用的占空比为30%-60%;电沉积的时间为2s-10s、然后用去离子水清洗;用于电沉积纳米级锡金属层的镀液为:甲基磺酸亚锡10~40g/L,硫酸亚锡20~40g/L,甲酚磺酸30~50g/L,硫酸10~20g/L,4-4’四甲基二氨基二苯甲烷0.1~0.8g/L,明胶0.05~0.5g/L,溶液温度为10~40℃;
(3)在锡金属层上面,用高频脉冲电流电沉积一层纳米级厚度的镍金属层,采用的高频脉冲电流的频率为50Hz-200Hz,电流密度为2-5A/dm2,占空比为50%-80%,电沉积时间为3s-15s,然后去离子水清洗,并采用8%-15%盐酸溶液先浸泡10-20s,然后用去离子水进行冲洗;用于电沉积纳米级镍金属层的镀液为:硫酸镍50~80g/L,氯化镍10~40g/L,硼酸10~20g/L,糖精0.1~1g/L,十二烷基硫酸钠0.01~0.3g/L,溶液PH值为3~6,溶液温度为40~70℃;
(4)在镍金属层上,用高频脉冲电流电沉积一层纳米级厚度的钯金属层,采用的高频脉冲电流的频率为150Hz-400Hz,电流密度为0.1-2A/dm2,占空比为40%-70%,电沉积时间为5s-10s,然后用去离子水清洗;用于电沉积纳米级钯金属层的镀液为:二氯二氨基钯10~30g/L,氯化铵5~20g/L,氨水10~25g/L,溶液PH值为6~11,溶液温度为15~40℃;
(5)最后再用高频脉冲电流电沉积一层纳米级厚度的金金属层,高频脉冲电的脉冲电源频率为150Hz-500Hz,电流密度为0.1-1A/dm2,占空比为40%-70%,电沉积时间为5s-10s,然后去离子水清洗并吹干;用于电沉积纳米级金金属层的镀液为:亚硫酸金钠5~20g/L,亚硫酸钠20~60g/L,乙二胺四乙酸钠0.1~1g/L,2,4二硝基酚0.05~2g/L,溶液PH值为8~12,溶液温度为30~60℃。
4.一种制备如权利要求1至2所述的任意一项超薄预镀引线框的方法,其特征在于:包括以下步骤:
(1)对铜合金引线框基体进行活化处理,具体步骤为:首先将引线框采用8%-20%硫酸溶液先浸泡10-30s,然后用去离子水进行冲洗;然后再把引线框浸入8%-20%的盐酸溶液中,浸泡时间为10-30s,然后用去离子水清洗后吹干;
(2)在铜合金引线框基体上,用高频脉冲电流电沉积一层纳米级厚度的第一镍金属层,采用的高频脉冲电流的频率为50Hz-200Hz,电流密度为2-5A/dm2,占空比为50%-80%,电沉积时间为3s-15s,然后去离子水清洗,并采用8%-15%盐酸溶液先浸泡10-20s,然后用去离子水进行冲洗;用于电沉积第一镍金属层的镀液为:硫酸镍50~80g/L,氯化镍10~40g/L,硼酸10~20g/L,糖精0.1~1g/L,十二烷基硫酸钠0.01~0.3g/L,溶液PH值为3~6,溶液温度为40~70℃;
(3)在第一镍金属层上面,用高频脉冲电流电沉积纳米级厚度的锡金属层,采用的高频脉冲电流的工作频率为200Hz-500Hz,电流密度为0.1-2A/dm2,所用的占空比为30%-60%;电沉积的时间为2s-10s、然后用去离子水清洗;用于电沉积纳米级锡金属层的镀液为:甲基磺酸亚锡10~40g/L,硫酸亚锡20~40g/L,甲酚磺酸30~50g/L,硫酸10~20g/L,4-4’四甲基二氨基二苯甲烷0.1~0.8g/L,明胶0.05~0.5g/L,溶液温度为10~40℃;
(4)在锡金属层上,用高频脉冲电流再电沉积一层纳米级第二镍金属层,采用的高频脉冲电流的频率为50Hz-200Hz,电流密度为2-5A/dm2,占空比为50%-80%,电沉积时间为3s-15s,然后去离子水清洗,并采用8%-15%盐酸溶液先浸泡10-20s,然后用去离子水进行冲洗;用于电沉积第二镍金属层的镀液为:硫酸镍50~80g/L,氯化镍10~40g/L,硼酸10~20g/L,糖精0.1~1g/L,十二烷基硫酸钠0.01~0.3g/L,溶液PH值为3~6,溶液温度为40~70℃;
(5)在第二镍金属层上,用高频脉冲电流电沉积一层纳米级厚度的钯金属层,采用的高频脉冲电流的频率为150Hz-400Hz,电流密度为0.1-2A/dm2,占空比为40%-70%,电沉积时间为5s-10s,然后用去离子水清洗;用于电沉积纳米级钯金属层的镀液为:二氯二氨基钯10~30g/L,氯化铵5~20g/L,氨水10~25g/L,溶液PH值为6~11,溶液温度为15~40℃;
(6)最后再用高频脉冲电流电沉积一层纳米级厚度的金金属层,高频脉冲电的脉冲电源频率为150Hz-500Hz,电流密度为0.1-1A/dm2,占空比为40%-70%,电沉积时间为5s-10s,然后去离子水清洗并吹干;用于电沉积纳米级金金属层的镀液为:亚硫酸金钠5~20g/L,亚硫酸钠20~60g/L,乙二胺四乙酸钠0.1~1g/L,2,4二硝基酚0.05~2g/L,溶液PH值为8~12,溶液温度为30~60℃。
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