[发明专利]一种量子阱红外焦平面阵列及其制作方法

权利要求书

1.一种量子阱红外焦平面阵列，包括衬底(5)、置于该衬底(5)正面的 由量子阱红外探测器单元(1)组成的量子阱红外探测器阵列(6)、置于该衬底 (5)背面的和所述量子阱红外探测器单元(1)一一对应的实现探测信号读出 的读出电路阵列(7)，所述量子阱红外探测器阵列(6)和读出电路阵列(7) 通过上电极引线(3)和下电极引线(4)互联，其特征在于：在所述量子阱红 外探测器阵列(6)中相邻的量子阱红外探测器单元(1)列与列之间还设有红 外光反射镜台(2)，该红外光反射镜台(2)能将垂直入射的红外光信号反射为 与所述衬底(5)平行的红外光信号，且在其上表面设有对红外光有反射性的镀 层。

2.根据权利要求1所述的量子阱红外焦平面阵列，其特征在于：该红外光 反射镜台(2)为侧棱与衬底(5)以及量子阱红外探测器单元(1)列均平行放 置的底面为等腰直角三角形的三棱柱，所述三棱柱上表面两个侧面和衬底(5) 夹角均为45°放置。

3.根据权利要求2所述的量子阱红外焦平面阵列，其特征在于：所述两个 侧面设有的对红外光有反射性的镀层为金镀层。

4.根据权利要求1所述的量子阱红外焦平面阵列，其特征在于：该量子阱 红外探测器单元(1)包括上欧姆接触层(8)、中间的多量子阱层(9)以及下 欧姆接触层(10)，该量子阱红外探测器单元(1)形状为圆柱体或长方体。

5.根据权利要求1所述的量子阱红外焦平面阵列，其特征在于：该量子阱 红外探测器单元(1)为GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器单元。

6.根据权利要求1所述的量子阱红外焦平面阵列，其特征在于：所述衬底 (5)材质为GaAs。

7.一种量子阱红外焦平面阵列的制作方法，其特征在于：在衬底(5)上 采用分子束外延或金属有机化学气相生长出整层的上欧姆接触层(8)、中间的 多量子阱层(9)以及下欧姆接触层(10)；

使用光刻胶把将要刻蚀红外光反射镜台(2)的区域保护起来，刻蚀出量子 阱红外探测器单元(1)；

使用光刻胶将已经刻蚀好的量子阱红外探测器单元(1)保护起来，采用原 子精确刻蚀的方式完成对红外光反射镜台(2)的刻蚀；

在红外光反射镜台(2)表面蒸镀对红外光有反射性的镀层；

使用标准集成电路工艺制作上电极引线(3)和下电极引线(4)；

通过铟球实现读出电路阵列(7)和上电极引线(3)、下电极引线(4)的 键合；

所述原子精确刻蚀为AsBr₃干法刻蚀。

8.根据权利要求7所述的量子阱红外焦平面阵列的制作方法，其特征在于： 所述对红外光有反射性的镀层为金镀层。