[发明专利]缓冲减震装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种减震装置机械设备，更具体地涉及一种用于对真空腔体进行缓冲减震的的缓冲减震装置

背景技术

在现代半导体行业的自动化和半自动化生产、平板印刷设备、光学领域以及电子设备行业等工业成产以及实验过程中，都需要高稳定度的防震技术，震动带来的危害无疑是致命的。然而，一方面，我们脚下站立的这块地板却在无时不刻的经受外界的各种干扰，如地震、附近来往的车辆、沉重的正在运转的机械、行走中的工作人员以及其他一切风吹草动都会给地板带来或大或小的震动，对防震动要求不高的物质来说是没有任何的影响，但是对防震动要求较高的物质来说确是有破坏性的，比如半导体工业中的光刻工艺、光栅制作以及高分辨率电子显微镜来说，这种干扰就已经足够具有致命的破坏性；另一方面，由于设备自身的内部运转部件在加速和减速时，也会产生高动态力造成机构性的振动现象，这个振动现象的强弱与加速和减速时候的迅速程度有关，因此，由于振动现象的存在，促使了设备在进行敏感运行前的的延迟现象。为了尽量减小甚至避免这种震动对工业生产带来的破坏和对设备本身带来的危害，多年来一直在试验各种各样的防震措施，在对防震要求较高的领域中，震动会给其带来极其严重的破坏，对设备的震动要求特别高，如果要镀一些精密的工件，例如OLED行业，膜层要求非常精密，设备对震动的要求非常严格，此装置用在抽真空的泵和腔体之间则可以基本上消除泵体震动对镀膜过程的影响。

目前，对震动要求较高的真空腔体为了减小震动一般采用两种方式，第一种增加腔体或固定座的质量得以增大惯性；第二种采用波纹管连接泵体隔离放置。第一种同本发明相比减震比较被动；第二种同本发明相比便携性不好且使用寿命较短。采用增大惯性来减小震动的方式有两个缺点：1、减震比较被动，因为这种方式简化了抽气管道，采用泵体和腔体的刚性连接，震动还是能直接传到腔体，不能从源头上减小震动；2、成本高，因为增加质量需增加材料，同时也增加了加工难度。采用波纹管连接减小震动的结构有三个缺点：1、寿命短，因为波纹管没有受到任何装置的保护，会受到一些挠性力，还会造成抽气前后波纹管的压缩比过大，从而影响寿命；2、便携性不好，因为泵体隔离放置；3；影响对腔内气体的抽速，因为这种减震方式的波纹管一般较长导致气体的流阻过大。

因此为了克服常规减震装置减震效果差、使用寿命短的特点，急需一种结构紧凑、减震效果好、成本低、使用寿命长的缓冲减震装置。

发明内容

本发明的目的是提供一种结构紧凑、减震效果好、成本低、使用寿命长的缓冲减震装置。

为了实现上述目的，本发明的技术方案为提供一种缓冲减震装置，所述缓冲减震装置安装于真空泵与真空腔体之间，所述缓冲减震装置包括第一法兰、第二法兰及波纹管，所述第一法兰及所述第二法兰均具有上表面与下表面，所述第二法兰的上表面与所述真空腔体密封连接，所述第一法兰的下表面与所述真空泵密封连接，所述波纹管具有第一开口端及第二开口端，所述波纹管的第一开口端与所述第一法兰的上表面密封连接，所述波纹管的第二开口端与所述第二法兰的下表面密封连接，所述第一法兰与所述第二法兰均为圆环结构，所述圆环结构具有向外突出的均匀分布的凸出部，所述凸出部上开设有安装孔，其中，还包括气弹簧及螺母，所述气弹簧两端分别具有连接部，所述连接部上开设有外螺纹，所述螺母具有与所述外螺纹相啮合的内螺纹，所述气弹簧两端的连接部对应的穿过所述第一法兰与所述第二法兰的安装孔并与所述螺母啮合。

较佳地，所述缓冲减震装置还包括第一弹性垫圈及第二弹性垫圈，所述气弹簧的连接部依次穿过所述第一弹性垫圈、安装孔及第二弹性垫圈并与螺母啮合。由于设置了所述第一弹性垫圈及所述第二弹性垫圈，由于所述安装孔是均匀分布在所述第一法兰与所述第二法兰均为圆环结构向外突出的均匀分布的凸出部的，使用所述第一弹性垫圈及所述第二弹性垫圈过渡连接，则能使所述第一法兰及所述第二法兰的得到很好的固定，所述第一弹性垫圈及所述第二弹性垫圈能够吸收部分震动的能量，能本发明使缓冲减震装置的整个结构成为一体。

较佳地，所述波纹管为金属波纹管。金属材质的弹性效果优良，具有防腐败、防变质的特点，使用寿命大大提高。

较佳地，所述波纹管的所述第一开口端与所述第一法兰的上表面密封焊接，所述波纹管的所述第二开口端与所述第二法兰的下表面密封焊接。由于焊接的方式的特点是连接牢固，由于本发明提缓冲减震装置是安装于真空泵与真空腔体之间，密封焊接的方式能够使得真空泵与真空腔体保持密封，密封焊接的方式连接能使所述第一法兰、所述波纹管及所述第二法兰之间成为一个整体。