[发明专利]带自补偿网络的薄膜压力传感器芯体无效
| 申请号： | 200910042541.X | 申请日： | 2009-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN101526411A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 何迎辉;颜志红;谢贵久;谢峰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 马 强 |
| 地址： | 410111湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 补偿 网络 薄膜 压力传感器 | ||
【权利要求书】：
1、一种带自补偿网络的薄膜压力传感器芯体，包括最大压应变、 最大拉应变区(4)和非应变区(5)，在最大压应变、最大拉应变区 各设一对应变电阻(1)，由该4个应变电阻(1)组成惠斯登全桥应 变电路，其特征是在弹性体的非应变区(5)还设有串接到惠斯登全 桥应变电路的电源输入端的铂电阻(3)。
2、根据权利要求1所述带自补偿网络的薄膜压力传感器芯体， 其特征是所述4个应变电阻为阻值相同的合金薄膜栅条电阻。
3、根据权利要求1所述带自补偿网络的薄膜压力传感器芯体， 其特征是非应变区(5)设有与4个应变电阻(1)连接的补偿电阻网络， 其由多个补偿电阻(2)组成。
4、根据权利要求3所述带自补偿网络的薄膜压力传感器的芯体， 其特征是所述补偿电阻(2)与应变电阻(1)的电阻温度系数相同。
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