[发明专利]一种钽电容器用钽壳内壁RuO2薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种钽电容器用钽壳内壁RuO₂薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)钽壳预处理：将钽壳打磨、抛光和清洗；备用；

2)可旋转悬挂电极的制备：采用中空石墨电极作为阳极，中空石墨电极的壁上设有多个通孔；

3)电沉积工艺：以酸性氯化钌胶体水溶液为电沉积液，电沉积液中，三氯化钌浓度为0.5～5mmol/L，NaNO₃浓度为0.05～0.5mol/L；将所述的中空石墨电极和钽壳分别作为阳极和阴极放入所述的电沉积液中，使中空石墨电极与钽壳内壁保持1～3mm距离；使中空石墨电极旋转，在钽壳内壁沉积RuO₂薄膜，沉积过程中，电沉积液温度为25～50℃，电沉积电流密度为2～30mA/cm²；

4)薄膜的热处理：将沉积好的钽壳内壁RuO₂薄膜在空气气氛下进行热处理，热处理温度100～300℃，热处理后，将RuO₂薄膜冷却。

2.根据权利要求1所述的钽电容器用钽壳内壁RuO₂薄膜的制备方法，其特征在于，所述的步骤1)中的预处理过程为：先用400#金相砂纸打磨粗化处理，再用800#金相砂纸打磨抛光，用丙酮清洗5～10分钟后，在浓度为20％～50％的氢氟酸、浓度为1～3g/mL的硝酸和浓度为1～4g/mL硫酸组成的混合酸中热洗1～10分钟，混合酸中氢氟酸、硝酸和硫酸溶液的体积比为2.5～4.5∶1.5～3∶2～5；最后以去离子水清洗；清洗过程中，用超声波辅助清洗。

3.根据权利要求1所述的钽电容器用钽壳内壁RuO₂薄膜的制备方法，其特征在于，所述的多个通孔沿中空石墨电极的周向和轴向均匀分布。

4.根据权利要求1～3任一项所述的钽电容器用钽壳内壁RuO₂薄膜的制备方法，其特征在于，所述的中空石墨电极的转速为6～120r/min。