[发明专利]掩模版定位存取机构有效

专利信息
申请号: 200910044990.8 申请日: 2009-01-07
公开(公告)号: CN101526744A 公开(公告)日: 2009-09-09
发明(设计)人: 马喜宝;李志龙 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G03F9/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所 代理人: 屈 蘅;李时云
地址: 201203上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 模版 定位 存取 机构
【权利要求书】:

1.一种掩模版定位存取机构,包括带动掩模版版盒托板上下移动的升降机构和一用于对掩模版版盒托板位置进行定位的分度定位机构,其特征在于:所述分度定位机构包括:定位传动齿形带、分度定位轮和定位传动齿形带轮,所述定位传动齿形带分别带动分度定位轮和定位传动齿形带轮转动,所述定位传动齿形带通过一齿形带夹与掩模版版盒托板固定连接,所述升降机构驱动所述掩模版版盒托板在竖直方向上作升降运动,使得所述掩模版版盒托板带动分度定位机构中的分度定位轮绕其转轴作同步旋转运动并由所述分度定位机构对所述掩模版版盒托板定位。

2.如权利要求1所述的掩模版定位存取机构,其特征在于:所述升降机构包括一支架、一驱动组件及一导轨组件,所述驱动组件驱动掩模版版盒托板沿导轨组件作直线往复运动。

3.如权利要求2所述的掩模版定位存取机构,其特征在于:所述驱动组件包括驱动电机、同步带轮及同步齿形带组件和滚珠丝杠螺母组件,所述驱动电机带动同步带轮及同步齿形带组件,所述同步带轮及同步齿形带组件通过滚珠丝杠螺母组件带动掩模版版盒托架沿导轨组件作直线往复运动。

4.如权利要求3所述的掩模版定位存取机构,其特征在于:所述同步带轮及同步齿形带组件包括:主动带轮、第一齿形带和从动带轮,所述驱动电机的输出轴与主动带轮的中心轴固定连接,所述主动带轮经所述第一齿形带带动所述从动带轮转动,所述从动带轮的中心轴与滚珠丝杠螺母组件的丝杠固定连接并带动丝杠转动。

5.如权利要求2所述的掩模版定位存取机构,其特征在于:所述滚珠丝杠螺母组件包括相啮合的螺母与丝杠,所述螺母与螺母支座固定连接,并且所述螺母支座通过一升降溜板与所述掩模版版盒托板固定连接。

6.如权利要求5述的掩模版定位存取机构,其特征在于:所述导轨组件包括固设在所述支架的一组竖向导轨座内的一组滚动导轨,所述滚动导轨平行设置于所述滚珠丝杠螺母组件的丝杠两侧,且所述升降溜板套设在所述滚动导轨上。

7.如权利要求6所述的掩模版定位存取机构,其特征在于:所述升降机构还 包括一防尘盖板,所述防尘盖板安装在所述升降溜板和所述竖向导轨座之间。

8.如权利要求1所述的掩模版定位存取机构,其特征在于:所述分度定位机构包括:所述分度定位轮的外围均布若干个定位凹槽,所述掩模版版盒托板上的相邻两掩模版对应部位的距离等于所述分度定位轮的相邻定位凹槽对应部位在分度圆圆周上的弧长距离。

9.如权利要求8所述的掩模版定位存取机构,其特征在于:所述分度定位轮的后部支架上装有一与所述定位凹槽大小形状相对应的导向槽,所述导向槽的一个竖直面上设有上、下滑槽。

10.如权利要求9所述的掩模版定位存取机构,其特征在于:所述上、下滑槽的之间的隔板上设置一供版叉侧面的导向销在两个滑槽之间转换的销孔通道。 

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