[发明专利]品质管理方法无效
申请号: | 200910045894.5 | 申请日: | 2009-01-23 |
公开(公告)号: | CN101788821A | 公开(公告)日: | 2010-07-28 |
发明(设计)人: | 杨斯元;简维廷 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G05B21/02 | 分类号: | G05B21/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李丽 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 品质 管理 方法 | ||
技术领域
本发明涉及品质管理方法,特别是对批处理生产中产品的品质管理方法。
背景技术
在企业的生产部门里,每天都要生产或加工大量产品,产品的性能和品质关系到企业的命脉,对产品质量进行及时的监控和检测分析显得尤为重要。品质管理方法就是通过对产品质量进行检测和分析,从而实现对生产的控制的一种方法,其中,常常通过采集产品质量的相关参数数据,采用统计学原理对所采集的参数样本数据进行分析,及时发现问题,从而实现对生产条件或流程的完善和改进。
在对产品质量进行监控的过程中,可将产品分为“合格品”和“不合格品”两种类型。以半导体制造生产为例,其中,“不合格品”,也就是残次品,是指生产过程中所产生的、其功能无法实现的芯片。现有技术采用统计方法对这样的不合格品进行监控时,通常采用p型控制图对其进行分析,即通过监控出现不合格评的概率来对生产过程进行监控。理论上,在计算控制界时,总是认为所采集的采样数据符合一定的前提条件,即采样数据为在连续的生产过程中所采集到的具有连续性的样本数据。
然而在实际生产制造的过程中,由于实际需要,为提高生产效率,常采用批处理方式进行生产。在批处理过程中,将连续的单个生产过程分为多个连续的生产阶段,并且所有进入生产过程的一组原材料分为并行处理的原材料,每个组分别同时经过每个生产阶段直至生产过程结束,最后将每个组处理好的产品汇集在一起。当某一个生产阶段结束,将进入下一个生产阶段时,通过对多组产品数据进行测量,获得同一个生产阶段中的多组样本数据。这些样本数据的组之间不存在连续性,因此当对这些样本数据进行分析和计算时,采用原来的方法获得的控制界将不能有效地对批处理生产过程进行监控。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种品质管理方法,能对批处理生产过程中的多组产品进行品质管理和监控。
为解决上述问题,本发明提供了一种品质管理方法,包括:分组对样本数据进行采样,其中不同组的数据之间不具有连续性;根据所述样本数据,分别设置组间控制界以及组内控制界。
可选的,所述样本数据为μ+σβωi+σWεij,其中i=1,2,....,m,且j=1,2,...,n;为样本数据的组间方差,为样本数据的组内方差,并且ωi、εij为独立正态分布N(0,1)的随机方差。
可选的,所述分组对样本数据进行采样,包括:根据所述样本数据,计算所述样本数据的组内方差和组间方差。
可选的,所述计算样本数据的组内方差和组间方差包括:获得所述样本数据的方差V(Yij)以及所述样本数据平均值的方差根据以及获得所述样本数据的组间方差以及所述样本数据的组内方差其中,n为所述样本数据的数目。
可选的,所述根据样本数据,分别设置组间控制界以及组内控制界,包括:采用p型控制图对所述样本数据进行监控。
可选的,所述采用p型控制图对样本数据进行监控,包括:计算各组样本数据的不合格率;计算组间平均不合格率;根据所述各组的样本数据的不合格率以及所述组间平均不合格率,获得组间控制图和组内控制图。
可选的,所述组内控制界包括:
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