[发明专利]重力补偿器

权利要求书

1.一种重力补偿器，用于对光刻设备中的微动台进行调平调焦和隔振，其特征在于：所述重力补偿器从上到下依次包括止推轴承、浮板、导向柱及压缩流体容器，其中，所述压缩流体容器能够充入压缩流体且在Z向具有弹性；所述浮板表面具有高压流体孔；所述导向柱连接在所述浮板与所述压缩流体容器之间以引导运动方向，并能够将所述压缩流体引导至浮板表面的高压流体孔，从而能够在所述浮板与所述止推轴承下端形成流体膜，使得所述止推轴承能够在X/Y方向运动；而所述止推轴承上端与所述微动台下端连接，且具有柔性铰链结构，能够在RX/RY方向运动。

2.如权利要求1所述的重力补偿器，其特征在于，所述导向柱外围具有衬套。

3.如权利要求2所述的重力补偿器，其特征在于，所述压缩流体容器底部固定至一底座，所述衬套通过连接在底座的支柱支撑。

4.如权利要求2或3所述的重力补偿器，其特征在于，所述导向柱中部外侧面具有高压流体孔，能够引导高压流体在所述衬套内侧与所述导向柱之间形成流体膜，使得所述导向柱能够在所述衬套的导向下在Z向无摩擦运动。

5.如权利要求4所述的重力补偿器，其特征在于，所述高压流体孔上下两侧开有泄压槽。

6.如权利要求5所述的重力补偿器，其特征在于，所述衬套内具有高压排流孔，流过所述泄压槽的气体通过该高压排流孔排出。

7.如权利要求6所述的重力补偿器，其特征在于，所述泄压槽的垂向槽宽与所述高压排流孔的孔径关系由所述重力补偿器的垂向行程决定。

8.如权利要求1所述的重力补偿器，其特征在于，所述压缩流体容器侧面是波纹管结构。

9.如权利要求8所述的重力补偿器，其特征在于，所述波纹管结构中设置有弹簧。

10.如权利要求8所述的重力补偿器，其特征在于，所述波纹管结构是金属材料。

11.如权利要求8所述的重力补偿器，其特征在于，所述波纹管结构的上下端分别连接至法兰。

12.如权利要求11所述的重力补偿器，其特征在于，所述波纹管与法兰之间通过焊接方式连接。

13.如权利要求11所述的重力补偿器，其特征在于，所述法兰内部具有高压流体通道。

14.如权利要求1所述的重力补偿器，其特征在于，所述导向柱、浮板的内部具有高压流体通道。

15.如权利要求1所述的重力补偿器，其特征在于，所述浮板表面的高压流体孔的两侧开有泄压槽。