[发明专利]用于微光刻的照明光学系统

权利要求书

1.一种用于微光刻的照明光学系统，包括：

光源；

石英棒，位于所述光源的光路上，所述光源发出的光经由所述石英棒的入射端进入并经由出射端射出；

中继透镜，位于所述石英棒的出射端的射出光路上；

照明场，位于所述中继透镜的出光光路上；其特征在于所述石英棒的入射端和出射端具有不同的口径；

其中，所述中继透镜为变焦镜组，包括第一变焦透镜和第二变焦透镜；

还包括，电机带动所述石英棒进行180度旋转；

采用变焦的中继透镜和石英棒旋转共同实现对数值孔径、曝光视场和相干因子的改变。

2.根据权利要求1所述的用于微光刻的照明光学系统，其特征在于所述电机为步进电机。

3.根据权利要求1所述的用于微光刻的照明光学系统，其特征在于所述光源为高压汞灯。

4.根据权利要求1所述的用于微光刻的照明光学系统，其特征在于所述照明场为掩模面。

5.根据权利要求1所述的用于微光刻的照明光学系统，其特征在于该系统包括聚光单元，位于所述光源和石英棒之间的光路上。

6.根据权利要求5所述的用于微光刻的照明光学系统，其特征在于所述聚光单元为变焦镜组。