[发明专利]一种光瞳测量装置及图像处理方法

权利要求书

1.一种光瞳测量装置，其特征在于包括：

傅里叶透镜；

进光孔，位于所述傅里叶透镜一侧的焦面上；

电荷耦合器件，位于所述傅里叶透镜另一侧的焦面上；

图像处理系统，和所述电荷耦合器件相连；

所述光瞳测量装置在光路方向上放置于一投影物镜的一侧，所述投影物镜的另一侧放置一掩膜板。

2.根据权利要求1所述一种光瞳测量装置，其特征在于所述光瞳测量装置和一控制台相连，由所述控制台控制所述光瞳测量装置的运动。

3.根据权利要求1所述一种光瞳测量装置，其特征在于所述掩膜板上分布多个小孔。

4.根据权利要求3所述一种光瞳测量装置，其特征在于相邻所述小孔之间的距离相等。

5.根据权利要求3所述一种光瞳测量装置，其特征在于所述小孔的形状是圆形、方形或三角形。

6.一种使用如权利要求1所述装置的光瞳图像处理方法，其特征在于包括如下步骤：

所述装置之图像处理系统判断所述光瞳的类型；

所述图像处理系统确定所述光瞳图像的中心；

所述图像处理系统计算所述光瞳的能量；

所述图像处理系统计算所述光瞳椭圆度、极平衡性或同心性。

7.根据权利要求6所述一种光瞳图像处理方法，其特征在于还包括一步进扫描过程，测量装置在像面的二维方向步进扫描，分别测量掩膜上多个小孔的光瞳质量，评估其对光刻线条均匀性的影响。

8.根据权利要求6所述一种光瞳图像处理方法，其特征在于所述光瞳的类型包括圆孔照明光瞳、二极照明光瞳、四极照明光瞳和环形照明光瞳。