[发明专利]六自由度精密定位平台

权利要求书

1.一种六自由度精密定位平台，用以承载物体并实现六个自由度调节，包括：

水平调节平台，包括：

水平输出平台，用以承载物体；

沿圆周平均分布的三组旋转副柔性铰链机构；以及

水平基座，通过所述旋转副柔性铰链机构与水平输出平台连接；

垂向调节平台，包括三组沿圆周平均分布的调节机构，其特征在于，所述调节机构包括：

垂向驱动器，用以沿水平方向驱动楔形块；

楔形块，受所述垂向驱动器驱动在所述水平基座上滑动，用以实现将水平方向上的位移转化为垂直方向上的位移，所述楔形块具有第一斜面，该第一斜面与水平线的夹角为45°；

垂向柔性簧片，用以引导楔形块沿垂直方向移动，所述垂向柔性簧片第一端与水平基座刚性连接，第二端与底座刚性连接，在该第一端与第二端之间包括水平放置的簧片；所述垂向柔性簧片第一端具有45°的第二斜面，与楔形块的第一斜面接触；以及

底座，用以承载所述垂向调节平台。

2.根据权利要求1所述的六自由度精密定位平台，其特征是，所述垂向驱动器固定在所述底座上。

3.根据权利要求1所述的六自由度精密定位平台，其特征是，所述旋转副柔性铰链机构包括：旋转副柔性铰链，连接于所述水平基座和水平输出平台之间，且包含一凸台；水平向驱动器，用以沿水平方向驱动所述凸台。

4.根据权利要求1所述的六自由度精密定位平台，其特征是，其中所述垂向驱动器是压电驱动器。

5.根据权利要求3所述的六自由度精密定位平台，其特征是，其中所述水平向驱动器是压电驱动器。

6.根据权利要求1所述的六自由度精密定位平台，其特征是，其中所述垂向柔性簧片限制所述水平输出平台在X-Y平面内的位移。

7.根据权利要求1所述的六自由度精密定位平台，其特征是，还包括水平向位移传感器，固定在所述水平基座上，用以检测所述水平输出平台的位置；以及垂向位移传感器，固定在所述底座上，用以检测所述水平基座的位置。