[发明专利]照明顶部模块安装调整机构

说明书

技术领域

本发明属于半导体生产领域，尤其涉及光刻机中的照明顶部模块的安装调整机构，用于安装、调整和维护光刻机中的照明顶部模块。 

背景技术

光刻机在工作一段时间以后(约一个月)，投影物镜上部的镜片需进行擦洗清理。在对镜片进行擦洗清理工作时，照明顶部模块须移开，使投影物镜上部镜片全部暴露在外以便进行镜片的擦洗清理。清洗工作完毕后，照明顶部模块需复位，并保证其位置精度，即应具有较高的重复定位精度。 

目前，光刻机照明顶部模块的安装结构多采用起升旋转结构，其特点是底部需要有足够刚度的支撑结构和上部需有较大的活动空间。图1-3为现在常见的光刻机照明顶部模块的安装结构一种典型简图，采用上下移动与手动旋转组合式移转装置。图1-3中：1-照明底部模块、2-定位装置、3-照明顶部模块、4-投影物镜镜片、5-投影物镜、6-主基板、7-外部框架、8-旋转轴、9-升降机构。如图1所示，这种光刻机采用的结构的原理如下：所述移转装置的升降机构9将照明顶部模块3向上升起一定高度，脱开定位装置2，然后转动照明顶部模块，使之绕旋转轴8旋转至图2所示位置，将投影物镜镜片4暴露在外而进行擦洗清理工作。这种光刻机照明顶部模块的安装结构的缺点是：一、为了露出需清洗的镜片，照明顶部模块需有较大的回转空间，所需占用的空间比较大，而且，不能完全露出镜片，不能留出足够的清洗操作空间，为清洗工作带来不便。二、定位装置不能调整，其安装定位精度差，故对其安装座板的加工精度要求高。三、采用手动回型式，自动化程度低。 

发明内容

有鉴于此，本发明主要解决的技术问题是提供一种照明顶部模块安装调整机构，通过采用上下移动与水平移动组合式移转装置，可以减少照明顶部模块为露出镜片所需要的活动空间，且镜片露出更完全，便于清洗。本发明的另一个目的在于，提高照明顶部模块的安装定位精度和复位精度。 

为解决上述技术问题，本发明采用了如下技术方案： 

一种光刻机照明顶部模块安装调整机构，包括一安装座板，所述安装座板和照明顶部模块之间设有一调整定位装置，所述照明顶部模块设于投影物镜镜片的上方，所述安装座板和照明顶部模块之间还设有用于水平移动照明顶部模块的移动装置和用于上下移动照明顶部模块的升降装置，水平移动具有使投影物镜镜片完全露出的行程，上下移动的行程使得照明顶部模块安全进行水平移动。 

所述的移动装置设于安装座板上，所述的升降装置设于所述的移动装置上。所述移动装置包括一移动气缸、移动导轨和滑块，所述移动气缸和移动导轨设置在所述安装座板上，所述移动气缸的输出轴与所述滑块固定连接，所述滑块上设有与所述移动导轨相配合的滑槽。所述升降装置为固设于所述滑块上的起升气缸，所述起升气缸的输出轴与所述照明顶部模块固定连接。 

所述调整定位装置分成四个单元，每个单元包括调整框、定位座、定位销、调整垫片、调整螺钉和连接座板，所述连接座板与所述照明顶部模块固定连接，所述定位座设置在所述调整框内，所述调整螺钉的一端穿过所述调整框的侧板与所述定位座相接触，所述调整框固设于安装座板上，所述定位座内设有与定位销的下部配合的孔，所述定位销的下部依次穿过所述连接座板、调整垫片后穿入所述定位座的孔内。所述定位座上还设置有若干锁紧螺钉。 

本发明还包括一扭簧锁紧气动打开的锁紧装置，其包括解锁气缸、锁钩、扭簧和锁钩支板，所述锁钩支板与所述安装座板固定连接，扭簧一端与锁钩支板固定连接，另一端与锁钩的一端连接，所述锁钩的另一端与解锁气缸的输出轴固定连接，扭簧在锁紧状态时将锁钩压紧在连接座板上，解锁气缸用于将锁钩打开。 

所述照明顶部模块和安装座板之间设有一缓冲装置。所述缓冲装置为液压缓冲器。 

本发明的有益效果： 

本发明采用一种全新的设计思路，对现有照明顶部模块安装定位调整装置做了较大改进，将上下移动与手动旋转组合式移转装置改为上下移动与水平移动组合式型式移转装置，有效减少了为清洗镜片照明顶部模块所需的活动空间，并且，可以将投影物镜镜片完全露出，便于镜片的清洗操作。 

本发明的定位调整装置可以对照明顶部模块进行六个自由度的精确定位调整。精度调整完毕后，锁紧螺钉将定位座锁紧。其优点是：①由于采用定位调整装置，降低了对照明框架、安装座板的加工精度的要求，加工工艺性得到提高。②多次清洗维护后精度的变化可以通过调整螺钉进行调整以恢复精度；③照明顶部模块具有在X、Y、Z方向及绕其旋转的六个自由度方向的精度调整，安装定位调整方便，重复定位精度高。