[发明专利]射频发生器测试方法及设备

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造领域及电磁领域，尤其涉及射频发生器测试方法及设备。

背景技术

射频发生器在半导体制造业等行业应用广泛，用于生成一定频率和功率的电磁波。射频发生器能否正常工作通常是判断其能否生成规定频率和功率的电磁波，如果其生成的电磁波的频率及功率是预期的，则该射频发生器能够正常工作，否则其不能够正常工作。

通常来讲，射频发生器生成的电磁波的频率是预期的频率，但是电磁波的功率可能不是预期的功率，这也是射频发生器故障的主要表现。

如果射频发生器生成的电磁波的功率不是预期功率，则在使用该电磁波时，就可能给应用者带来各类损失，因此就需要在该射频发生器离线状况即未开始工作时对其进行检测。

但目前业界缺乏能够在离线状况下检测射频发生器的检测方案。

发明内容

本发明提供射频发生器测试方法及设备，以在离线条件下实现对射频发生器的检测，避免了使用有故障的射频发生器而可能对使用者带来各类损失。

本发明提出了射频发生器测试方法，该方法包括：将射频发生器与负载连接；向连接有所述负载的射频发生器输入直流电压信号；获得该射频发生器基于所述直流电压信号生成的电磁波的功率；比较获得的所述功率与预期功率是否相等，并在不相等时，确定该射频发生器有故障，所述预期功率为无故障的射频发生器基于该直流电压信号生成的电磁波的功率。

本发明还提出了射频发生器测试设备，该设备包括信号输入单元，用于向连接有负载的射频发生器输入直流电压信号。

本发明通过向射频发生器输入直流电压信号，再获得由射频发生器生成的电磁波的功率是否是预期功率，并在不是的情况下，测试出该射频发生器有故障，从而实现了对射频发生器的测试，且该测试方案是在射频发生器离线工作状况下实现的，能够避免使用有故障的射频发生器而可能对使用者带来各类损失。

附图说明

图1为本发明实施例提出的射频发生器测试方法流程图；

图2为本发明实施例提出的射频发生器测试设备的结构示意图。

具体实施方式

图1为本发明实施例提出的射频发生器测试方法流程图，结合该图，本发明实施例提出的该方法包括步骤：

步骤1，将射频发生器与负载连接；所述负载的电阻值与射频发生器的种类有关，选择负载时，其电阻值通常需满足能够使射频发生器生成的电磁波功率最大的条件。对于大多数射频发生器，所述负载的电阻值为50欧姆。

步骤2，向连接有所述负载的射频发生器输入直流电压信号；

由于射频发生器通常有能够输出直流电压的端口，因此在向射频发生器输入直流电压信号以产生电磁波时，可以从该输出端口接收射频发生器输出的原始直流电压信号，然后对其处理后得到新的直流电压信号，并输回射频发生器以产生电磁波，这样就无需使用其它电源来产生所述直流电压信号，可以节省测试成本，且便于使用，其中原始直流电压信号得到新的直流电压信号可以通过多种常见的电压转换技术实现。此外直流电压信号也可以来自其它电源，在射频发生器无法输出原始直流电压信号时也能够实现射频发生器的测试。

步骤3，获得该射频发生器基于所述直流电压信号生成的电磁波的功率；

获得所述功率的方式有多种，如果射频发生器有功率显示功能，则可以直接从射频发生器上读取所述功率，此外还可以由射频发生器反馈电压信号，然后根据该电压信号的电压值及电压值与功率的对应关系来获得所述功率。

步骤4，比较获得的所述功率与预期功率是否相等，并在不相等时，确定该射频发生器有故障；其中所述预期功率为无故障的射频发生器基于该直流电压信号应当生成的电磁波的功率。

由于射频发生器通常在不同直流电压作用下，可以激发出多个不同功率的电磁波，因此为测试射频发生器在各个不同电压的直流电压信号作用下能否激发出相应功率的电磁波，上述方案还可以包括选择向连接有所述负载的射频发生器输入的直流电压信号的电压值的步骤。这样对于需要测量的电压值，可以直接选择至该电压档，然后进行上述操作，判断该射频发生器能否输出该电压值对应的电磁波。