[发明专利]一种超级电容器极板材料及其制备方法

权利要求书

1.一种超级电容器极板材料的制备方法，其特征是：包括如下步骤：

A.采用电化学法制作硅微通道；

B.以硅微通道为衬底，经表面预处理后，在无电镀镍镀液 中沉积镍层，形成镍/硅微通道纳米复合结构；

C.对制作的镍/硅微通道纳米复合结构在氧气气氛中进行 快速热退火，退火温度控制在350℃到550℃之间，退火时间 控制在6到10分钟，即形成氧化亚镍/硅微通道复合结构材 料。

2.如权利要求1所述的超级电容器极板材料的制备方法，其特征是：所述步 骤A中的制作硅微通道的电化学法为首先利用光刻定义硅片孔的位置，进 行预腐蚀，当孔呈倒四棱台结构时停止腐蚀；随后沿着倒四棱台顶角向下 进行电化学深刻蚀，在衬底上形成微通道结构；然后进行背面减薄至所刻 蚀位置；再用超声波分离使中间未刻蚀部分脱落，即获得抛离于衬底的硅 微通道结构。

3.如权利要求1所述的超级电容器极板材料的制备方法，其特征是：所述步 骤B中的表面预处理指：用1％聚乙二醇辛基苯基醚溶液浸润30秒。

4.如权利要求1所述的超级电容器极板材料的制备方法，其特征是：所述步 骤B中的无电镀镍镀液的配方为：浓度为0.8～1.4摩尔/升的六水合硫酸 镍，浓度为8～12毫克/升的十二烷基硫酸钠，浓度为2.3～2.7摩尔/升的 氟化氨，浓度为0.1～0.3摩尔/升的柠檬酸钠，再配上氨水调整镀液的pH 值为7.0～10。

5.如权利要求4所述的超级电容器极板材料的制备方法，其特征是：在所述 镀液中沉积30到45分钟。