[发明专利]晶棒装卸装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种晶棒装卸装置，属于晶棒装卸工具的技术领域。

背景技术

在工业生产中晶棒行业发展迅速，生产随着国内技术不断提升。国内企业为了获得更大的投资收益，在生产规模和产品质量上不断提升。如硅晶棒、铪晶棒、铜晶棒和砷化镓晶棒依托国际市场的定价和国内的原材料、人力等成本优势，晶棒生产极具吸引力。

砷化镓单晶棒、晶片是重要原材料产品之一，随着生产技术的提升，其在下游市场的应用越来越广泛，成为近几年的热点产品。

硅晶棒是半导体生产的基础材料，单晶硅是制造硅晶圆片的基础材料，多晶硅粗砂是制造单晶硅的基础材料。市场上卖的IC产品。高级的像CPU，低级的像各种小塑封小集成块，都是最终的产品。

随着我国太阳能电池生产企业产能的不断扩大，对硅晶棒的需求量已经连续4年保持100％以上的增长速度。

晶棒的生产成为热点，在生产中需要将晶棒从单晶炉取出，使用的晶棒装卸装置，如图1所示，只是象简易的推车，有2个轮子，加上简单的框架，框架通常设置为两个半圆或拱形的结构，参见图2，框架上设置用来固定晶棒的特氟龙材料，半圆或拱形的边缘用法兰或者螺栓固定。这种完全是依靠人的操作，安全性、可靠性特差，并且费力、费时，对人的伤害有热辐射或烫伤，在装卸时也容易造成晶棒的损坏。

发明内容

本发明就是为了解决上述问题，克服人工操作费力、费时，安全性、可靠性特差，晶棒的容易损坏，对人的伤害有热辐射或烫伤的问题，提供一种晶棒装卸装置。该发明适用于晶棒的装卸。

本发明所需要解决的技术问题，可以通过以下技术方案来实现：

晶棒装卸装置，包括堆高机，堆高机设置一控制台，其特征在于，所述堆高机连接一晶棒夹取装置，所述晶棒夹取装置包括：

一起支撑作用的总支撑座，总支撑座设置与堆高机连接的接口；

一使晶棒旋转的马达设置于总支撑座上，所述马达连接一控制晶棒翻转的蜗轮蜗杆减速器，所述蜗轮蜗杆减速器通过链条连接一轴向张紧的手轮；

一与蜗轮蜗杆减速器的旋转轴连接一晶棒支座；所述晶棒支座上设置一控制张紧手臂张开和收缩的齿轮减速器；所述晶棒支座的两端连接伸缩管；一伸缩管的末端连接支撑板，另一伸缩管的末端连接支撑板；

蜗轮蜗杆减速器为空心轴结构，蜗轮蜗杆减速器通过其内部的旋转轴与连接轴连接，连接轴设置与齿轮减速器连接；

所述晶棒支座上设置用来夹取晶棒的张紧手臂；所述张紧手臂设置为两个环抱的手臂状。

所述马达通过马达支座固定于总支撑座的一侧，马达通过联轴器与连接轴连接，所述连接轴与蜗轮蜗杆减速器连接；

所述蜗轮蜗杆减速器设置于总支撑座的中部；

所述蜗轮蜗杆减速器中间设置旋转轴，所述旋转轴内设置链轮轴，链轮轴外缘套一链轮，链轮外设置链条，链条套在另一围绕小轴旋转的链轮上；所述小轴上套一张紧的手轮；

所述链轮轴的末端设置限位的挡圈I；

所述小轴外设置深沟球轴承，所述深沟球轴承设置于轴承支座I中，所述轴承支座I固定于总支撑座的一侧；

所述伸缩管的末端设置装紧把手，所述装紧把手连接销轴II；

所述旋转轴的基部设置旋转座；所述旋转座设置于晶棒支座的中间；所述旋转座的下方设置一限位块；

两个支撑板相向的面设置支撑圈；

所述支撑圈设置为两个同心圆，外环为支撑圈I，内环为特氟龙制成的支撑圈II；

所述张紧手臂的一端与压轮连接，所述张紧手臂的另一端设置夹紧晶棒的压轮，压轮中间设置销轴I；

所述张紧手臂分包括一较短的支撑手臂A和一较长的不动的支撑手臂B；

所述齿轮减速器通过丝杆与伸缩管连接；

所述伸缩管设置于晶棒支座内部，沿着丝杆的方向进行伸缩；所述丝杆的末端设置起缓冲的缓冲垫和限位的挡圈；

所述齿轮减速器两端依次连接弹簧支座、矩形弹簧、弹簧挡圈、轴承支座、平面推力球轴承和圆螺母，所述齿轮减速器通过丝杆与张紧方杆连接；所述张紧方杆与棘轮把手连接；

所述棘轮把手通过棘轮把手支架安装在晶棒支座的末端；

所述总支撑座上设置安全护栏，安全护栏保护操作人员避免被高温的晶棒烫伤；

所述堆高机的后边设置控制台，所述控制台上设置操作面板，操作面板上设置控制晶棒夹取装置运动的倾斜按钮。

晶棒装卸装置的操作过程：

(1)晶棒夹取装置，旋转到垂直位置。

(2)通过手轮调整长度方向的尺寸，按照所要拉制晶棒长度进行调整。