[发明专利]基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器无效

专利信息
申请号: 200910049872.6 申请日: 2009-04-23
公开(公告)号: CN101544347A 公开(公告)日: 2009-09-30
发明(设计)人: 丁桂甫;吴义伯;张丛春;王娟;张小波;王亚攀 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: B81B7/02 分类号: B81B7/02
代理公司: 上海交达专利事务所 代理人: 王锡麟;王桂忠
地址: 200240*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 基于 电热 电磁 驱动 双向 双稳态 驱动器
【权利要求书】:

1.一种基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器,其特征在于,包括:永磁体、衬底、电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元,其中:永磁体位于衬底下方,并与衬底紧密相连;电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元分别位于衬底上方,双向运动梁单元与电热电磁驱动单元相连,构成一个悬空自由运动的可动梁;一对机械锁定单元对称分布于双向运动梁单元与电热电磁驱动单元的左右两边;一对电接触单元对称分布于双向运动梁单元的左右两端;

所述双向运动梁单元包括双向运动梁、锁定滑块、柔性缓冲弹簧、动触点,其中:双向运动梁与电热电磁驱动单元中的柔性电热弹簧相连,构成自由运动的可动梁;锁定滑块具有圆弧形结构,一对锁定滑块对称分布于双向运动梁的左右两边,一对动触点对称分布于双向运动梁的左右两端,并通过柔性缓冲弹簧与双 向运动梁相连;蛇形结构的柔性缓冲弹簧连接着动触点;

所述机械锁定单元包括热驱动基座、热驱动电极、U型热驱动热臂、U型热驱动冷臂、锁定触头,其中:热驱动基座位于衬底上方,并与衬底紧密相连;热驱动电极位于热驱动基座上方,U型热驱动器热臂和U型热驱动器冷臂分别与热 驱动电极相连,一段圆弧形片段连接U型热驱动器热臂和U型热驱动器冷臂;锁定触头位于U型热驱动器热臂的端部。

2.根据权利要求1所述的基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器,其特征是,所述电热电磁驱动单元包括磁驱动基座、磁驱动电极、刚体质量块、柔性电热弹簧,其中:磁驱动基座位于衬底上方,并与衬底紧密相连;磁驱动电极位于磁驱动基座上方,刚体质量块的两端分别连接一段柔性电热弹簧;一对柔性电 热弹簧通过磁驱动电极与磁驱动基座相连。

3.根据权利要求2所述的双向双稳态微驱动器,其特征是,所述一对柔性电热弹簧是并联分布,且具有反向的V型结构。

4.根据权利要求1所述的双向双稳态微驱动器,其特征是,所述的锁定触头具有圆弧形结构。

5.根据权利要求1所述的基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器,其特征是,所述电接触单元包括静触点和外接回路,其中:外接回路位于衬底上方,并与衬底紧密相连;一对静触点与双向运动梁上的动触点相匹配,共同实现对外接回路的导通与断开。

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