[发明专利]相似性检测方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及检测领域，尤其涉及相似性检测方法及系统。

背景技术

可靠性是半导体器件的重要性质，可以用半导体器件的寿命衡量。在半导体生产中，通常需保证生产出的各个半导体器件的寿命相差较小，即半导体器件的寿命相似。

下面以两批半导体器件为例来阐述目前业界采用的相似性检测方案。

首先从两批器件中分别选择一定数量的器件，并检测出选择出的器件的寿命；出于检测的时间及资金等成本考虑，各批器件中选择出的器件数量一般低于30个；

然后根据检测得到的器件寿命，采用F和t统计来实现相似性检测。

上述检测方案的缺点在于：由于F和t统计一般只适用于大样本，即需要的样本数量很多，通常大于30个，而上述选择出样本即选择出的器件数量低于甚至远远低于30，因此采用F和t统计实现相似性检测很难保证检测的准确性。

发明内容

本发明提供相似性检测方法及系统，以提高相似性检测的准确性。

本发明提出了相似性检测方法，用以检测产品的性质的相似性，该方法包括步骤：获得两组检测数据，所述检测数据符合对数正态分布；计算各组检测数据对应的对数正态分布函数均值和方差；根据所述均值和方差获得各组检测数据对应的置信区间；依照相似性规则，确定两组数据的相似性。

本发明还提出了相似性检测系统，用以检测产品的性质的相似性，该系统包括：数据获得单元，用于获得两组检测数据，所述检测数据符合对数正态分布；数据计算单元，用于计算数据获得单元获得的各组检测数据对应的对数正态分布函数均值和方差；区间获得单元，用于根据所述数据计算单元计算出的均值和方差获得各组检测数据对应的置信区间；相似性确定单元，用于依照相似性规则，确定两组数据的相似性。

本发明基于对数正态分布函数，通过获得两组检测数据，所述检测数据符合对数正态分布；计算各组检测数据对应的对数正态分布函数均值和方差；根据所述均值和方差获得各组检测数据对应的置信区间；以及依照相似性规则，确定两组数据的相似性，解决了在小样本，例如在检测数据小于30个的情况下，现有方案相似性检测不准确的问题，提高了相似性检测的准确性。

附图说明

图1为本发明实施例中相似性检测方法流程图；

图2为本发明实施例中相似性检测系统结构图。

具体实施方式

尽管下面将参照附图对本发明进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会是本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

图1为本发明实施例中相似性检测方法流程图，结合该图，该方法包括步骤：

步骤1，获得两组检测数据，所述检测数据符合对数正态分布；

本实施例用以检测产品的性质的相似性，所述产品可以是半导体器件等产品，所述性质可以是半导体器件的寿命等，例如所述检测数据可以是符合对数正态分布的半导体器件的寿命数据，例如电子迁移测试(EM，Electromigtation)和压力迁移测试(SM，Stress Migration)等；也可以是其它性质的数据，只需该检测数据符合对数正态分布即可。其中每组检测数据的数目无论大于30个还是小于30个，本实施例的方案均有较佳效果。

步骤2，计算各组检测数据对应的对数正态分布函数均值和方差；

以μ表示所述对数正态分布函数均值，σ表示所述对数正态分布函数方差，则当检测数据为半导体器件寿命时，μ＝ln(T50)，σ＝1/Slope，其中T50是半导体器件的中位寿命，Slope是根据将检测数据绘制于对数正太分布坐标图模拟的直线的斜率，该坐标图横轴为寿命，纵轴为累计失效率。