[发明专利]产品投放方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及产品投放方法及系统。

背景技术

半导体生产过程中，半导体产品顺次经过一系列机台进行相应工艺制程处理，然后得到最终产品。产品在经过前一机台处理完毕送至后一机台后，由于后一机台可能在处理其它产品或有其它产品需要优先处理，因此送来的产品就需要停留一段时间才能由后一机台处理。

在前一机台处理完半导体产品后，通常需要在既定时间内由后一机台处理该半导体产品，否则该半导体产品可能就会产品缺陷，降低产品良率，所述既定时间称为允许等待时间。其中如果到达某些机台的半导体产品无需在既定时间内由该机台处理，则称这些机台为休憩机台。

如果投放进入生产线生产的产品数目或种类过多，则可能导致一个或多个机台前产品停留的时间超过允许等待时间，带来产品缺陷等问题。因此在投放产品进入生产线进行生产时，需要防止投放的产品在由其工艺流程对应的下一个休憩机台前各个机台处理时，其停留时间超过允许等待时间。

由于目前同一机台通常会处理不同工艺的不同产品，即同一机台涉及的工艺和产品数目较多，因此难以衡量将要投放进入生产线的产品是否会有在机台前停留时间超过允许等待时间的问题。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种产品投放方法及系统，以防止投放进入生产线的产品在机台前的停留时间超过允许等待时间而导致产品缺陷，降低产品良率等问题。

本发明提供了一种产品投放方法，该方法包括步骤：确定出下一个休憩机台前将要处理该产品的各个机台；获得所述各机台对应的该产品允许等待时间、到达时间及初始处理时间；对于各机台，分别判断初始处理时间是否小于到达时间与允许等待时间之和；在各机台的判断结果均为小于时，投放该产品，否则禁止投放该产品。

本发明提供了一种产品投放系统，该系统包括：机台确定单元，用于确定出下一个休憩机台前将要处理该产品的各个机台；时间获得单元，用于获得所述各机台对应的该产品允许等待时间、到达时间及初始处理时间；判断单元，用于分别判断各机台的初始处理时间是否小于到达时间与允许等待时间之和；投放单元，用于在各机台的判断结果均为小于时，投放该产品；以及禁止投放单元，用于在各机台的判断结构并非均为小于时禁止投放该产品。

由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本发明具有以下优点：

1、能够在投放产品前判断出产品投放后是否会有产品在机台前的停留时间超过允许等待时间而导致产品缺陷，降低产品良率等问题，并在有上述问题时，禁止投放该产品，从而避免上述问题。

2、不会改变各机台的预定派工顺序及派工规则，使派工简便化。

附图说明

图1为本发明实施例提供的产品投放方法流程图；

图2为本发明实施例提供的产品投放系统的结构示意图。

具体实施方式

为解决背景技术的问题，本申请发明人提出如果能够在投放产品前，判断出该投放的产品进入生产过程后是否会有在机台前停留时间超过允许等待时间的问题，并在判断出有所述问题时，禁止投放该产品，则能够避免上述问题，提高产品良率。

图1为本发明实施例提出的产品投放方法流程图，结合该图，该方法包括：

步骤1，确定出下一个休憩机台前将要处理产品的各个机台；

半导体产品生产过程中，产品需要由一系列机台进行工艺处理，不同产品对应的机台系列可能不一样。下一个休憩机台前将要处理产品的机台可以根据该产品的工艺流程确定出来。

步骤2，获得所述各机台对应的该产品允许等待时间、到达时间及初始处理时间；

当产品经过前一机台处理完到达当前机台时，其一般需要在允许等待时间内由当前机台进行处理，不同机台对应的该产品允许等待时间一般不同，且一般是既定的。

机台对应的产品到达时间是指产品由该机台前面的机台处理完到达该机台的时间，由该机台前的所有机台的产品允许等待时间及处理该产品所需的时间确定。本实施例中，获得产品到达时间可以包括步骤：

步骤a1，获得在该机台前，需要处理该产品的各机台处理该产品所需的时间及允许等待时间；

步骤a2，计算所述允许等待时间及处理该产品所需的时间之和，作为该机台对应的该产品的到达时间。