[发明专利]一种窄带滤光片光学谐振腔均匀度的检测方法无效
| 申请号： | 200910050423.3 | 申请日： | 2009-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101551295A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 陆晟侃;陈磊 | 申请（专利权）人： | 上海海事大学 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈学雯 |
| 地址： | 200135上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 窄带 滤光 光学 谐振腔 均匀 检测 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种窄带滤光片光学谐振腔均匀度的检测方法，其特征在于：
(1)将选出的滤光片放入光谱仪中，将入射光射向滤光片；
(2)测量滤光片的透射光谱，旋转窄带滤光片窄带透射光谱部分；
(3)读取窄带透射光谱的中心波长λ及其对应的透射率T和光谱的半峰宽δλ；
(4)从窄带滤光片设计膜系所计算得到的理论透射光谱中读取半峰宽δλ0，计算比值η＝(δλ-δλ0)/(λT)；
(5)比较不同窄带滤光片之间的η＝(δλ-δλ0)/(λT)值大小，比较不同窄带滤光片之间的η值，该值越大，所对应的滤光片谐振腔的不均匀性就越大，入射光需要尽可能接近平行光，光线的汇聚角不能大于10度，入射光的光路所在光轴应该与滤光片的表面相垂直，偏离误差不能大于5度。
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