[发明专利]静电微电机

权利要求书

1.一种静电微电机，其特征是，包括：

转子，包括一段薄壁圆柱和一段空心圆柱，所述转子的材料为金属；以及

定子，与所述转子同轴并被包覆于所述转子之内，所述定子和所述转子之间具有空气层，所述定子包括大于两个的偶数个互相绝缘的金属导体，这些金属导体以定子的轴线为中心对称，所述定子的外表面具有电介质层，

其中，分别顺序地在一组相对的金属导体上加极性相反大小相等的电压，所述定子和所述转子之间产生静电场，所述转子在所述静电场的电场力的作用下发生变形，随着所述静电场方向的转变，所述转子跟随电场旋转方向而缓慢转动。

2.根据权利要求1所述的静电微电机，其特征是，还包括：

轴，与所述转子同轴，与所述空心圆柱紧配合，当所述转子转动时，所述转子带动所述轴转动。

3.根据权利要求2所述的静电微电机，其特征是，还包括与所述转子同轴的：

绝缘罩，在所述转子之外包覆所述转子；

上端盖，在轴向方向盖住所述绝缘罩的顶端；

径向磁浮轴承转子，固定在所述轴上；

径向磁浮轴承定子，固定在所述绝缘罩上，所述径向磁浮轴承定子利用电磁力在径向上对轴实现悬浮；

轴向磁浮轴承转子，固定在所述轴上；以及

轴向磁浮轴承定子，固定在所述上端盖上，所述轴向磁浮轴承定子利用电磁力在轴向上对轴实现悬浮。

4.根据权利要求1所述的静电微电机，其特征是，其中所述静电微电机用于调整光刻装置中的元件，所述转子连接至所述元件，从而驱动所述元件进行位置上的微调。

5.根据权利要求4所述的静电微电机，其特征是，其中所述光刻装置的元件是镜片、晶片台或激光源。

6.根据权利要求1所述的静电微电机，其特征是，其中所述静电微电机的传动比为：

i=rr-S]]>

其中，r是所述转子的内径，S是所述定子的外径。