[发明专利]温度控制方法及其温度控制系统无效
申请号: | 200910051057.3 | 申请日: | 2009-05-12 |
公开(公告)号: | CN101587357A | 公开(公告)日: | 2009-11-25 |
发明(设计)人: | 余小虎;李小平;聂宏飞;罗晋;余斌;龚岳俊;金敏;黄友任 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司;华中科技大学 |
主分类号: | G05D23/20 | 分类号: | G05D23/20;G05B19/04;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈 蘅;李时云 |
地址: | 201203上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 温度 控制 方法 及其 控制系统 | ||
1.一种温度控制方法,通过一温度控制系统执行,该温度控制系统包含有加热模块以及制冷模块,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
设定该温度控制系统所要输出的循环冷却液的预期温度值;
根据循环冷却液出口当前温度值与预期温度值之间的偏差,调整加热模块与制冷模块功率输出,控制温度的变化;
将控制温度的变化过程分为至少三个阶段,每个阶段实现不同的目标,使循环冷却液的温度达到设定的预期温度值,所述三个阶段为M1、M2、M3,其中,
M1阶段用以提高温度控制系统的响应速度,快速接近预期温度值;
M2阶段用以控制温度变化的斜率;
M3阶段用以使系统当前的温度值稳定在预期温度值处。
2.如权利要求1所述温度控制方法,其特征在于:所述M1阶段的步骤为:
设定循环冷却液的预期温度值;
启动加热模块或制冷模块以满负荷工作,使得当前温度值接近所述预期温度值。
3.如权利要求1所述温度控制方法,其特征在于:所述M2阶段的步骤为:
设定一期望温度变化速率;
调整加热模块和制冷模块的输出功率比例,使得循环冷却液的温度变化速率与期望温度变化速率一致。
4.如权利要求1所述的温度控制方法,其特征在于:所述M3阶段的步骤为:
同时调节加热模块与制冷模块,使循环冷却液出口当前温度值迅速稳定在设定值附近,并达到预期精度;
限制加热模块与制冷模块温度变化的增量的大小,防止温度变化的增量过大。
5.一种温度控制系统,其特征在于:采用如权利要求1至4中任一项所述的温度控制方法,所述温度控制系统包括温度采集模块、控制器模块、加热模块、制冷模块和水箱,其中,
温度采集模块的输入端与水箱的输出端口连接,输出端与控制器模块连接,用以采集循环冷却液出口当前温度;
控制器模块的输入端与温度采集模块的输出端连接,输出端分别与固态继电器和相位角控制器连接,用以对所述温度采集模块采集的温度数据进行处理,并对加热模块和制冷模块发出控制信号;
加热模块的输入端与控制器模块连接,输出端位于水箱中,用以根据控制器模块的控制信号,控制加热的输出功率;
制冷模块的输入端与相位角控制器输出端连接,输出端与水箱的输入端口连接,用以根据控制器模块的控制信号,控制制冷的输出功率;
水箱的输入端分别与制冷模块和加热模块的输出端连接,用以均匀混合经加热与制冷后的循环冷却液。
6.如权利要求5所述温度控制系统,其特征在于:所述温度采集模块包括激励源、温度传感器、A/D转换模块和数字滤波器,
激励源的输出端与温度传感器的输入端连接,用以给温度传感器产生激励信号;
温度传感器的输入端与激励源的输出端连接,输出端与A/D转换模块的输入端连接,用以采集循环冷却液出口当前温度并提供给A/D转换器;
A/D转换器的输入端与温度传感器的输出端连接,输出端与数字滤波器的输入端连接,用以将所述温度传感器采集的模拟信号转换成数字信号;
所述数字滤波器的输入端与A/D转换器的输出端连接,输出端连接于控制器模块,用以将所述数字信号滤波后转化为测量温度值,并将测量温度值传给控制器模块。
7.如权利要求6所述温度控制系统,其特征在于:所述激励源为恒流源或恒压源。
8.如权利要求5所述温度控制系统,其特征在于:所述加热模块包括固态继电器和加热器,其中,
固态继电器的输入端与控制器模块的输出端连接,输出端与加热器的输入端连接,用以接收控制器模块的控制信号,控制加热器的功率输出;
加热器位于水箱中,用以加热。
9.如权利要求5所述温度控制系统,其特征在于:所述制冷模块包括相位角控制器和半导体制冷器,其中,
相位角控制器的输入端与控制器模块的输出端连接,输出端与半导体制冷器连接,用以接收控制器模块的控制信号,控制半导体制冷器的功率输出;
半导体制冷器输出端与水箱的输入端口连接,用以提供制冷后的循环冷却液。
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