[发明专利]表面横波压力和温度传感器

权利要求书

1.一种表面横波压力和温度传感器，其特征在于，包括金属底座、管帽、玻璃膜片、玻璃圆环、石英晶体悬臂梁、谐振式声表面横波力敏元件、石英晶体片和谐振式声表面横波温敏元件，金属底座上设有玻璃圆环，玻璃圆环与金属底座的压力入口同心，玻璃圆环上设置玻璃膜片，玻璃膜片的上表面共有三枚凸起结构，在一枚边缘凸起和中间凸起上载有石英晶体悬臂梁，中间凸起与石英晶体悬臂梁的距离为零，石英晶体悬臂梁的上表面光刻有谐振式声表面横波力敏元件，在另一枚边缘凸起上载有石英晶体片，该晶体片上光刻有谐振式声表面横波温敏元件，金属底座、管帽、玻璃圆环和玻璃膜片构成了一个气密性容器。

2.根据权利要求1所述的表面横波压力和温度传感器，其特征是所述的金属底座上有三枚柯伐合金管脚，其中二枚与金属底座绝缘，分别与谐振式声表面横波力敏元件和谐振式声表面横波温敏元件的一个端子相连，余下的一枚与金属底座相连。

3.根据权利要求1所述的表面横波压力和温度传感器，其特征是，所述的石英晶体悬臂梁下表面设有一个凹槽，该凹槽与上表面的谐振式声表面横波力敏元件相对应，中心线与石英晶体悬臂梁横向成90度角。

4.根据权利要求1所述的表面横波压力和温度传感器，其特征是，在石英晶体悬臂梁顶端区域与中间凸起相接触的区域，设有与石英晶体悬臂梁表面垂直的通孔。

5.根据权利要求1或者4所述的表面横波压力和温度传感器，其特征是，所述中间凸起呈针状，直径为0.5mm～1mm。

6.根据权利要求1所述的表面横波压力和温度传感器，其特征是，两个所述边缘凸起直径为4mm～8mm。

7.根据权利要求1所述的表面横波压力和温度传感器，其特征是，所述的石英晶体悬臂梁为BT切石英晶体，石英晶体悬臂梁呈等腰梯形，其上、下表面为光学研磨面或者抛光面。

8.根据权利要求1所述的表面横波压力和温度传感器，其特征是，所述的玻璃圆环、玻璃膜片、金属底座粘接连接，玻璃膜片与谐振式声表面横波力敏元件、谐振式声表面横波温敏元件粘接连接。

9.根据权利要求1所述的表面横波压力和温度传感器，其特征是，所述的玻璃膜片材料为石英玻璃或硼硅酸盐玻璃，下表面为精密光学研磨面或者抛光面。