[发明专利]利用电磁和电荷弛豫工作的悬浮转子微陀螺

权利要求书

1.一种电磁悬浮电荷弛豫驱动微转动陀螺，包括上定子、下定子、周边结构、微转子， 上定子、下定子上下设置，上定子、下定子和周边结构相连构成一个笼式结构，周边结构设置 在微转子周围，微转子置于笼式结构中间，其特征在于：

上定子包括：上定子旋转电极、第一个悬浮稳定线圈内圈、第一个悬浮稳定线圈外圈、第 二个悬浮稳定线圈内圈、第二个悬浮稳定线圈外圈、上定子轴向悬浮检测电极和公共电极，上 定子从内到外，依次是：第一个悬浮稳定线圈内圈、第一个悬浮稳定线圈外圈、上定子旋转电 极、公共电极、上定子轴向悬浮检测电极、第二个悬浮稳定线圈内圈、第二个悬浮稳定线圈外 圈，其中：第一个悬浮稳定线圈内圈、第一个悬浮稳定线圈外圈，第二个悬浮稳定线圈内圈、 第二个悬浮稳定线圈外圈共同构成悬浮稳定线圈，且分别为带开口的圆形铜线圈，彼此之间不 连接，均在以上定子中心为圆心的圆上，每一个旋转电极都成扇形，均匀的分布在以上定子的 圆心为圆心的圆周上，且彼此间隔相等，上定子轴向悬浮检测电极的每一个都成扇形，均匀的 分布在以上定子中心圆心为圆心的圆周上，且彼此间隔相等，公共电极是一个连续的导电圆环， 旋转电极的最小内径大于微转子的最小内径，而旋转电极圆环的最大外径小于微转子的最大外 径，第一个悬浮稳定线圈内圈的内径小于微转子的内径，第一个悬浮稳定线圈外圈的外径大于 微转子的内径，第二个悬浮稳定线圈内圈的内径小于微转子的外径，第二个悬浮稳定线圈外圈 的外径大于微转子的外径；

所述上定子和下定子结构相同，垂直对应；

所述的周边结构是一个圆环式结构，包括外围径向悬浮检测电极和内围径向悬浮检测电 极，同一径向的外围径向悬浮检测电极和内围径向悬浮检测电极位于以平衡位置时转子中心为 圆心的同一扇形区内。

2.根据权利要求1所述的电磁悬浮电荷弛豫驱动微转动陀螺，其特征是，所述的微转子 是五层圆环结构，分别为环形转子上表面电荷弛豫层、环形转子下表面电荷弛豫层，上绝缘层、 下绝缘层，支撑层，支撑层位于中间，环形转子上表面电荷弛豫层、环形转子下表面电荷弛豫 层分别通过上绝缘层、下绝缘层与支撑层相连。

3.根据权利要求2所述的电磁悬浮电荷弛豫驱动微转动陀螺，其特征是，所述的环形转 子上表面电荷弛豫层、环形转子下表面电荷弛豫层采用注硼掺杂多晶硅材料，上绝缘层、下绝 缘层采用SiO₂材料，支撑层采用Si材料。