[发明专利]减振支撑装置及采用该减振支撑装置的光刻机

权利要求书

1.一种减振支撑装置，其特征在于，该减振支撑装置包括支撑板、与该支撑板相对设置的气浮块、主气缸，该支撑板包括基板、设置在该基板四周的侧壁和设置在该基板中心位置的导向孔，该气浮块包括挡板、设置在该挡板四周的侧壁和设置在该挡板中心位置的导向杆，该导向杆和该导向孔相配合形成一静压空气轴承，该支撑板的侧壁和该气浮块的侧壁通过波纹管密封连接，该支撑板、该气浮块、该波纹管和该主气缸所围空间内充满压力气体，形成一空气弹簧。

2.如权利要求1所述的减振支撑装置，其特征在于：该支撑板的导向孔由设置在该基板中心位置的挡壁围成，该挡壁套设于该气浮块的导向杆的外侧。

3.如权利要求2所述的减振支撑装置，其特征在于：该支撑板的挡壁设置有第一气孔，该第一气孔与该支撑板的导向孔连通。

4.如权利要求1所述的减振支撑装置，其特征在于：该支撑板的基板设置有第二气孔，该第二气孔与该支撑板的导向孔连通。

5.如权利要求4所述的减振支撑装置，其特征在于：该第二气孔呈“丁”字形。

6.如权利要求1所述的减振支撑装置，其特征在于：该气浮块的挡板设置有第三气孔，该主气缸通过该第三气孔向该支撑板、该气浮块和该波纹管围成的空间通气。

7.如权利要求1所述的减振支撑装置，其特征在于：该减振支撑装置还包括上板和底板，该支撑板、该波纹管和该气浮块设置于该上板和底板之间。

8.如权利要求7所述的减振支撑装置，其特征在于：该支撑板的基板通过球形铰链支撑该上板。

9.如权利要求8所述的减振支撑装置，其特征在于：该球形铰链的周边设置有橡胶环，该橡胶环连接该上板和该支撑板。

10.如权利要求7所述的减振支撑装置，其特征在于：该气浮块的侧壁邻近该底板的末端向外侧延伸形成延伸部，该延伸部与该底板之间形成静压空气轴承。

11.如权利要求7所述的减振支撑装置，其特征在于：该底板设置有通孔，该主气缸的出气口通过管道与该底板的通孔连接。

12.如权利要求11所述的减振支撑装置，其特征在于：该主气缸设置有控制阀，用于调节该主气缸向该减振支撑装置的通气量。

13.如权利要求1所述的减振支撑装置，其特征在于：该波纹管为金属波纹管。

14.一种光刻机，包括一机器负荷和一底座，其特征在于：该光刻机还包括设置于该机器负荷和该底座之间的减振支撑装置，该减振支撑装置包括支撑板、与该支撑板相对设置的气浮块、主气缸，该支撑板包括基板、设置在该基板四周的侧壁和设置在该基板中心位置的导向孔，该气浮块包括挡板、设置在该挡板四周的侧壁和设置在该挡板中心位置的导向杆，该导向杆和该导向孔相配合形成一静压空气轴承，该支撑板的侧壁和该气浮块的侧壁通过波纹管密封连接，该支撑板、该气浮块、该波纹管和该主气缸所围空间内充满压力气体，形成一空气弹簧。

15.如权利要求14所述的光刻机，其特征在于：该光刻机包括三个该减振支撑装置，该三个减振支撑装置在该底座上呈三角形分布。

16.如权利要求14所述的光刻机，其特征在于：该光刻机包括四个该减振支撑装置，该四个减振支撑装置在该底座上呈四边形分布。

17.如权利要求14所述的光刻机，其特征在于：该支撑板的导向孔由设置在该基板中心位置的挡壁围成，该挡壁套设于该气浮块的导向杆外侧。

18.如权利要求14所述的光刻机，其特征在于：该支撑板的基板设置有第二气孔，该第二气孔与该支撑板的导向孔连通。

19.如权利要求14所述的光刻机，其特征在于：该减振支撑装置还包括上板和底板，该支撑板、该波纹管和该气浮块设置于该上板和底板之间。

20.如权利要求19所述的光刻机，其特征在于：该支撑板的基板通过球形铰链支撑该上板。

21.如权利要求20所述的光刻机，其特征在于：该球形铰链的周边设置有橡胶环，该橡胶环连接该上板和该支撑板。

22.如权利要求19所述的光刻机，其特征在于：该气浮块的侧壁邻近该底板的末端向外侧延伸形成延伸部，该延伸部与该底板之间形成静压空气轴承。