[发明专利]电子封装用镀钨SiC颗粒增强铜基复合材料的制备方法无效
申请号: | 200910055976.8 | 申请日: | 2009-08-06 |
公开(公告)号: | CN101624665A | 公开(公告)日: | 2010-01-13 |
发明(设计)人: | 顾明元;甘可可 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | C22C1/05 | 分类号: | C22C1/05;C22C1/10;H01L21/60 |
代理公司: | 上海交达专利事务所 | 代理人: | 毛翠莹 |
地址: | 200240*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 封装 用镀钨 sic 颗粒 增强 复合材料 制备 方法 | ||
1.一种电子封装用镀钨SiC颗粒增强铜基复合材料的制备方法,其特征在于包括以下步骤:
1)原料的组分及体积百分比为:镀钨SiC颗粒50-75%,添加元素0.5-3%,Cu基体22-49.5%;所述添加元素为Fe、Co、Ni中的一种或几种;所述Cu基体中,Cu金属粉末为原料总体积百分比的10-20%,其余为Cu金属块;
2)将Cu金属粉末、添加元素粉末及镀钨SiC颗粒混粉,混粉时间为1-20小时,混粉转速为30-100转/分钟;
3)在50MPa-150MPa压强下,将混粉后的粉末压制成坯料;
4)将Cu金属块与压制成型的坯料在熔渗炉中进行熔渗;熔渗温度为1100-1350℃,熔渗气氛为氢气气氛;熔渗速度为2-5min/mm,熔渗时间=熔渗速度×所制备的复合材料厚度;
5)对熔渗完成后的样品进行复压,复压压强为100-500MPa,复压时间为10秒-1分钟;制得电子封装用镀钨SiC颗粒增强铜基复合材料。
2.根据权利要求1的电子封装用镀钨SiC颗粒增强铜基复合材料的制备方法,其特征在于所述镀钨SiC颗粒,是采用溶胶-凝胶方法在表面预先镀覆一层金属钨的SiC颗粒,其颗粒粒度在1-50μm之间。
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