[发明专利]多孔氧化铝膜湿敏传感器的制备方法

权利要求书

1、一种多孔氧化铝膜湿敏传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步、配制H₃PO₄-H₂O-C₂H₅OH混合电解液；

第二步、将圆形铝片进行溶剂浸泡处理后，用棉球将其表面擦拭干净，并用去离子水冲洗，最后采用强氧化抛光液在恒压条件下进行电化学抛光；

第三步、将装有混合电解液的大烧杯置于低温恒温槽中并对电解液降温搅拌处理，在阳极氧化电压为195V下对电化学抛光后的圆形铝片进行一次腐蚀3分钟，然后取出圆形铝片，经去膜处理后再次进行二次腐蚀2分钟，制成多孔氧化铝膜；

第四步、将若干多孔氧化铝膜置于磷酸溶液中进行化学浸蚀处理，时间分别设置为15min、30min和40min，由此得到若干不同孔径结构的氧化铝膜；

第五步、在不同孔径结构的氧化铝膜的正面溅射Au膜作为湿敏元件的一个电极，该氧化铝膜的反面即为另一电极，通过细铜丝分别引出两个电极，多孔氧化铝膜湿敏传感器制备完成。

2、根据权利要求1所述的多孔氧化铝膜湿敏传感器的制备方法，其特征是，所述的混合电解液的组分及其浓度为：体积比浓度为20％的C₂H₅OH和0.4mol/L的H₃PO₄。

3、根据权利要求1所述的多孔氧化铝膜湿敏传感器的制备方法，其特征是，所述的溶剂浸泡处理是指将圆形铝片置于丙酮溶剂中浸泡25分钟。

4、根据权利要求1所述的多孔氧化铝膜湿敏传感器的制备方法，其特征是，所述的圆形铝片是指直径为2cm，纯度大于等于99.999％的铝制圆片。

5、根据权利要求1所述的多孔氧化铝膜湿敏传感器的制备方法，其特征是，所述的强氧化抛光液是指体积比为1∶4的高氯酸和乙醇混合溶液。

6、根据权利要求1所述的多孔氧化铝膜湿敏传感器的制备方法，其特征是，所述的降温搅拌处理是指将混合电解液的温度降至-8℃的同时对其进行搅拌。

7、根据权利要求1所述的多孔氧化铝膜湿敏传感器的制备方法，其特征是，所述的去膜处理是指：将一次腐蚀的圆形铝片置于温度为60℃的磷铬酸混合液中，浸泡2小时，以去除腐蚀处理中产生的有序性不良的多孔膜。

8、根据权利要求1所述的多孔氧化铝膜湿敏传感器的制备方法，其特征是，所述的磷铬酸混合液的组分及质量百分比浓度为6％的磷酸和1.8％的铬酸，余量为去离子水。

9、根据权利要求1所述的多孔氧化铝膜湿敏传感器的制备方法，其特征是，所述的Au膜为圆形结构，其厚度为40～50nm，直径为6～10mm。