[发明专利]一种带制冷器的微型气体富集器及其使用方法

权利要求书

1.一种带制冷器的微型气体富集器，包括一个膜片型的气体富集器和一个半导体制冷片，其 特征在于：所述膜片型气体富集器由一个硅基板、一个玻璃顶盖、进气口、出气口和设置在 硅基板和玻璃顶盖之间的富集区构成，所述富集区由一个或多个富集单元构成，每个富集单 元具有一个悬空膜片以及设置在悬空膜片上方的薄膜加热器和吸附薄膜，所述半导体制冷片 设置在膜片型气体富集器的下方，并不与悬空膜片直接接触，而由空气腔间隔，所述空气腔 由硅基板、悬空膜片和半导体制冷片围成，所述空气腔是不密闭的，硅基板上设置有凹槽或 者通气孔。

2.根据权利要求1所述的带制冷器的微型气体富集器，其特征在于，所述悬空膜片材料采用 氮化硅或二氧化硅或聚酰亚胺。

3.根据权利要求1所述的带制冷器的微型气体富集器，其特征在于，所述薄膜加热器由蛇形 金属薄膜构成，材料采用铂、钯、钨、钼、钽及其合金。