[发明专利]氧化锌纳米紫外光敏传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种氧化锌纳米紫外光敏传感器的制备方法，所述传感器至少包括衬底、水 平排列的氧化锌纳米杆、种子层和具有钝化功能的插指电极导电薄膜，其特 征在于采用如下具体步骤：

步骤一，利用传统光刻工艺在衬底上做出插指电极的光刻胶掩膜，或者利用 金属掩膜；

步骤二，在步骤一得到的衬底上沉积一层对氧化锌具有亲和性的薄膜作为种 子层，得到插指电极形状的薄膜；

步骤三，在步骤二的产物上沉积一层对ZnO分子不具有亲和性的具有钝化功 能的插指电极导电薄膜；

步骤四，将步骤三得到的产物，置于高压反应釜内，使用浓度为0.001- 0.02mol/L的醋酸锌和六亚甲基四氨水溶液作为反应溶液，将衬底正面朝下置于 液面处，密封后置于烘箱中65℃-140℃下保温反应1-3h，反应后将衬底用去 离子水漂洗，置于烘箱中烘干，得到水平生长的ZnO阵列。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征是：所述种子层为氧化锌、掺铝的氧 化锌或金，其厚度为30-300nm。

3.如权利要求1或2所述的制备方法，其特征是：所述衬底为不导电的普通玻 璃、二氧化硅或聚对苯二甲酸乙二醇酯柔性衬底。

4.如权利要求1或2所述的制备方法，其特征是：所述具有钝化功能的插指电 极导电薄膜为锡、铬或掺二氧化锡的三氧化二铟，其厚度至少为50nm。