[发明专利]可以拉制二十二根硅芯或其它晶体材料的高频线圈结构

说明书

技术领域：

本发明涉及高频线圈技术领域，尤其是涉及一种可使电流均匀分布在内 孔周围，通过电流使硅芯或其它晶体材料受热均匀，并且一次可以拉制二十二 根硅芯或其它晶体材料的高频线圈结构。

背景技术：

目前，硅芯在国内使用量非常巨大；现有的硅芯、单晶硅及其它材料晶体 区熔方式生产的工艺过程中，大多使用的是一种单目高频线圈，其工作原理如 下：工作时通过给高频线圈通入高频电流，使高频线圈产生电流对原料棒进行 感应加热，加热后的原料棒上端头形成融化区，然后将仔晶插入熔化区，慢慢 提升仔晶，熔化后的原料就会跟随仔晶上升，形成一个新的柱形晶体，这个新 的柱形晶体便是硅芯或其它材料晶体的制成品。

本人经过多次实验发现，由于现有的高频线圈布局不尽不合理一次想要同 时拉制十根以上仔晶几乎是不可能的，而一次拉制仔晶的多少直接影响到投入 产出比，效益的多少完全取决于拉制仔晶的多少，由于现有的高频线圈在内孔 周围的电流运行达不到预期的目的，出现了除中部和连接斜开口的内孔电流运 行较多，另外几个内孔的环绕电流受到高频电流运行原理的影响，使得大部分 内孔的温度远低于靠近或连接斜开口内孔的温度(也就是电流走近路)，由于 电流的走近路现象，所产生的后果是提升起来的仔晶直径悬殊非常大，从而造 成残次品数量的大幅增加。

发明内容：

为了克服背景技术中的不足，本发明公开了一种可以拉制二十二根硅芯或 其它晶体材料的高频线圈结构，本发明的二十二个内孔为中部设置一个内孔， 中部的内孔由放射状分流槽连接七个呈花瓣状分布的内孔，另外的十四个内孔 在所述的七个呈花瓣状分布内孔内孔之间分别设置两个呈杠铃状的内孔，促使 电流运行时在分流槽的分流作用下均匀围绕所述的花瓣状分布的内孔和呈杠 铃状的十四个内孔运行，并且分流槽辅助电流更均匀的分布在二十二个内孔周 围，实现了电流在二十二个内孔周围均匀分布的目的。

为了实现上述发明的目的，本发明采用如下技术方案：

一种可以拉制二十二根硅芯或其它晶体材料的高频线圈结构，所述的高频 线圈结构在高频线圈的下部设置有电流输送暨冷却水输送铜管A及电流输送 暨冷却水输送铜管B，高频线圈的高频线圈上面呈向中心位置内陷的斜面，所 述的高频线圈的高频线圈下面设有向中心位置内陷的梯形，冷却水道环埋在高 频线圈的外围；所述的高频线圈结构包括用于电流导流的放射状分流槽、分流 槽和内孔，二十二个内孔的其中八个为中部设置一个内孔，另外七个内孔呈花 瓣状均匀分布在中部内孔的周围，在所述的八个内孔外围的七个内孔之间分别 设有两个内孔之间连接分流槽的呈杠铃状的内孔。

所述的可以拉制二十二根硅芯或其它晶体材料的高频线圈结构，在电流输 送暨冷却水输送铜管A及电流输送暨冷却水输送铜管B一侧的斜开口连接贯通 至八个内孔外围七个呈花瓣状均匀分布内孔中的任意一个。

由于采用上述技术方案，本发明具有如下优越性：

本发明所述的可以拉制二十二根硅芯或其它晶体材料的高频线圈结构，本 发明的二十二个内孔为中部设置一个内孔，中部的内孔由放射状分流槽连接七 个呈花瓣状分布的内孔，另外的十四个内孔在所述的七个呈花瓣状分布内孔内 孔之间分别设置两个呈杠铃状的内孔，促使电流运行时在分流槽的分流作用下 均匀围绕所述的花瓣状分布的内孔和呈杠铃状的十四个内孔运行，并且分流槽 辅助电流更均匀的分布在二十二个内孔周围，实现了电流在二十二个内孔周围 均匀分布的目的；二十二个内孔的加热温度基本相同，本设计突破了现有最高 只能拉出八根硅芯的局限，实现了电流在二十二个内孔周围均匀分布的目的， 提高能量利用率，降低生产成本和减少次品率；本发明且具有加热均匀、大量 节约能源、减少设备投资及人工综合成本可有效降低等优点，易于在多晶硅行 业推广实施。

附图说明：

图1是本发明的工作原理示意图。

图2是本发明的平面结构示意图。

图3是图2的A-A示图。

图4是本发明的电流分配图。

在图中：1、原料棒；2、磁力线；3、高频线圈；4、冷却水道；5、硅芯； 6、仔晶；7、仔晶夹头；8、内孔；9、高频线圈上面；10、高频线圈下面； 11、电流输送暨冷却水输送铜管A；12、电流输送暨冷却水输送铜管B；13、 斜开口；14、放射状分流槽；15、电流；16、分流槽。