[发明专利]一种二氧化钛介孔薄膜紫外光电探测原型器件的制作方法

权利要求书

1.一种二氧化钛介孔薄膜紫外光电探测原型器件的制作方法，其特征在于采用以下步骤制备：

(1)将质量比例为1∶0.003～0.008∶20～80的四氯化钛、嵌段式聚醚F-127和无水乙醇加至烧瓶中混合，在冰水浴中搅拌反应10～20分钟，然后撤掉冰水浴，向烧瓶中加入0.6～3.6ml蒸馏水，常温下搅拌反应4～6小时即成溶胶；

(2)将洁净的玻璃基底浸入步骤(1)制得的溶胶中，再提拉玻璃基底，使玻璃基底的表面覆盖有溶胶，将覆盖有溶胶的玻璃基底置于密闭容器内陈化24～120小时，然后将陈化后的玻璃基底在空气中煅烧，煅烧时以1～2℃/min的升温速率升温至300～450℃，保温4～6h，自然冷却到室温，得到透明的TiO₂介孔薄膜；

(3)采用真空溅射的方式在TiO₂介孔薄膜一面镀两个间隔1～3mm的钼电极，得到二氧化钛介孔薄膜紫外光电探测原型器件。

2.如权利要求1所述的二氧化钛介孔薄膜紫外光电探测原型器件的制作方法，其特征在于：所述真空溅射时先在TiO₂介孔薄膜的中央贴一个宽度为1～3mm的隔断介质，然后采用考夫曼离子源溅射钼靶的方式向TiO₂介孔薄膜上镀钼电极，使二氧化钛介孔薄膜表面沉积有厚度为30～60nm的钼电极，揭去隔断介质后得到二氧化钛介孔薄膜紫外光电探测原型器件。

3.如权利要求1或2述的二氧化钛介孔薄膜紫外光电探测原型器件的制作方法，其特征在于：所述密闭容器内的相对湿度50～85％，温度为室温。

4.如权利要求3所述的二氧化钛介孔薄膜紫外光电探测原型器件的制作方法，其特征在于：所述考夫曼离子源溅射时实验本底真空度为6×10^-4a，沉积薄膜时真空度2.2×10^-2Pa，氩气7.2sccm，屏极电压1200V，加速电压100V，束流60mA。

5.如权利要求4所述的二氧化钛介孔薄膜紫外光电探测原型器件的制作方法，其特征在于：所述隔断介质为纸条、布条或塑料布。